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第12章大学物理光学(干涉).ppt

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三、光 程(optical path) 相位差在分析光的干涉时十分重要,为便于计算光通过不同媒质时的相位差,引入“光程”的概念。 光在介质中传播时,光振动的相位沿传播方向逐点落后。光传播一个波长的距离,相位变化2?。 引入光程慨念,相位差公式相同。 下面举例说明。 [例]如图,在S2P间插入折射率为n、厚度为d的媒质。 求:光由S1、S2到P的相位差?? 。 在光的干涉和衍射中常用到透镜。透镜成象, 象点是亮点,说明光线是同相叠加,即在焦点处各光线是同相位的。由于平行光的波阵面与光线垂直,所以从垂直入射平行光束的任一平面到会聚点,各光线之间的光程差为零(等光程原理)。使用透镜不会产生附加的光程差。 路程(波程)不同,但光程相同。解释:如下图:AaF、CcF在空气BbF透镜的折射率大于真空中的折射率, (equal inclination fringes) 劈尖干涉条纹是一系列明暗相间的、等间距分布的、平行于棱边的平直条纹。 劈尖干涉条纹 依据: 测表面不平度 测波长:已知θ、n,测L可得λ 测折射率:已知θ、λ,测L可得n 测细小直径、厚度、微小变化 Δh 待测块规 λ 标准块规 平晶 等厚条纹 待测工件 平晶 应用 例题12-11 在半导体元件生产中,为了测定硅片上SiO2薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈尖状,已知SiO2 的折射率n =1.46,用波长? =589.3 nm的钠光照射后,观察到劈尖上出现9条暗纹,且第9条在劈尖斜坡上端点M处,Si的折射率为3.42。试求SiO2薄膜的厚度。 Si SiO2 O M 解:由于 由暗纹条件 知,第9条暗纹对应于k=8,代入上式得 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 例题12-12 为了测量金属细丝的直径,把金属丝夹在两块平玻璃之间,形成劈尖,如图所示,如用单色光垂直照射 ,就得到等厚干涉条纹。测出干涉条纹的间距,就可以算出金属丝的直径。某次的测量结果为:单色光的波长?=589.3 nm金属丝与劈间顶点间的距离L=28.880 mm,30条明纹间得距离为4.295 mm,求金属丝的直径D? L D 思路: 解: 相邻两条明纹间的间距 其间空气层的厚度相差为?/2。于是, 其中?为劈间尖的交角。因为? 很小,所以 代入数据得 例题12-13 利用空气劈尖的等厚干涉条纹可以检测工 件表面存在的极小的加工纹路, 在经过精密加工的工件表面上放一光学平面玻璃,使其间形成空气劈形膜,用单色光照射玻璃表面,并在显微镜下观察到干涉条纹,如图所示,试 a b ?h b a ?h ek-1 ek 根据干涉条纹的弯曲方向,判断工件表面是凹的还是凸的;并证明凹凸深度可用下式求得: 解:如果工件表面是精确的平面,等厚干涉条纹应该是等距离的平行直条纹,现在观察到的干涉条纹弯向空气膜的左端。因此,可判断工件表面是下凹的,如图所示。由图中相似直角三角形可知: 所以 a b ?h b a ?h ek-1 ek . S 分束镜M 显微镜 o 牛顿环 装置简图 平凸透镜 平晶 牛顿环:一束单色平行光垂直照射到此装置上时,所呈现的等厚条纹是一组以接触点O为中心的同心圆环。 (1) 牛顿环实验装置及光路 2.牛顿环 (2) 反射光光程差的计算 e A 1 2 (3) 牛顿环干涉条纹的特征 ① 明暗条纹的判据 r R e 0 由几何关系可知 明纹 暗纹 k=0,r =0 中心是暗斑 ………… 牛顿环干涉条纹是一系列明暗相间的同心圆环。 明环 暗环 明环 暗环 ② 相邻暗环的间距 内疏外密 明环 暗环 牛顿环干涉是一系列明暗相间的、内疏外密的同心圆环。 测透镜球面的半径R 已知?, 测 k、rk+m、rk,可得R 。 测波长? 已知R,测出k 、 rk+m、rk, 可得? 。 检验透镜球表面质量 标准验规 待测透镜 暗纹 ? 应用: 依据:公式 构造与光路示意图 *§12-6 迈克耳孙干涉仪 M?1 2? 2 1 1? S M2 M1 G1 G2 E 半透 半反膜 工作原理 光束2′和1′发生干涉 若M??1、M2平行 ? 等倾条纹 S M2 M1 G1 G2 M?1 2? 2 1 1? 等倾条纹 工作原理 光束2′和1′发生干涉 若M??1、M2有小夹角 ? 等厚条纹 S M2 M1 G1 G2 M?1 2? 2 1 1? 各种干涉条纹及M?1,M2相应位置如下图示: M? 2

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