传感器原理及应用(第三版)第5章精品.pptVIP

传感器原理及应用 第五章 电压式传感器 第5章 压电式传感器 压电式传感器是一种典型的有源传感器（或发电型传感器）。它以某些电介质的压电效应为基础，在外力作用下，在电介质的表面上产生电荷，从而实现非电量电测的目的。 压电传感元件是力敏元件，所以它能测量最终能变换为力的那些物理量，例如力，压力，加速度等。 压电式传感器具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高等优点。近年来压电测试技术发展迅速，特别是电子技术的迅速发展，使压电式传感器的应用越来越广泛。 第5章 压电式传感器 5－1 压电效应 5－2 压电材料 5－3 压电式传感器的测量电路 5－4 压电式传感器的应用 5－1 压电效应 压电效应 某些晶体，在一定方向受到外力作用时，内部将产生极化现象，相应地在晶体的两个表面产生符号相反的电荷；当外力作用除去时，又恢复到不带电状态。当作用力方向改变时，电荷的极性也随着改变，这种现象称为压电效应。具有压电效应的物质很多，如石英晶体、压电陶瓷、压电半导体等。 一 石英晶体的压电效应 石英晶体是一种应用广泛的压电晶体。它是二氧化硅单晶，属于六角晶系。下图是天然石英晶体的外形图，它为规则的六角棱柱体。石英晶体有三个晶轴：Z轴又称光轴，它与晶体的纵轴线方向一致；X轴又称电轴，它通过六面体相对的两个棱线并垂直于光轴；y轴又称机械轴，它垂直于两个相对的晶柱棱面。 石英晶体的外形、坐标轴及切片 如果从石英晶体中切下一个平行六面体并使其晶面分别平行于Z-Z、Y-Y、X-X轴线。晶片在正常情况下呈现电性。通常把沿电轴(X轴)方向的作用力产生的压电效应称为“纵向压电效应”，把沿机械轴(Y轴)方向的作用力产生的压电效应称为“横向压电效应”，沿光轴(Z轴)方向的作用力不产生压电效应。沿相对两棱加力时，则产生切向效应。压电式传感器主要是利用纵向压电效应。 石英晶体具有压电效应，是由其内部分子结构决定的。下图是一个单元组体中构成石英晶体的硅离子和氧离子，在垂直于z轴的x y平面上的投影，等效为一个正六边形排列。 图中“＋”代表硅离子 ， “－”代表氧离子 。 硅氧离子的排列示意图 当石英晶体未受外力作用时，正、负离子正好分布在正六边形的 顶角上，形成三个互成120°夹角的电偶极矩P1、P2、P3。 如下图 （a）所示。 因为P = qL（q为电荷量，L为正负 电荷之间的距离），此时正负电荷中 心重合，电偶极矩的矢量和等于零， 即 所以晶体表面不产生电荷，呈电中性。 当晶体受到沿x方向的压力 作用时，晶体沿x方向将产生 收缩，正、负离子的相对位置随之发生变化，如下图（b）动画演 示所示。此时正、负电荷中心不再重合，电偶极矩 减小， 、 增大，它们在 方向上的分量不再等于零: 可见，当晶体受到沿x(电轴)方向的力Fx 作用时，它在X方向产生正压电效应，而Y、Z方向则不产生压电效应。 晶体在y轴方向受力Fy作用下的情况与Fx 相似。当Fy ＞0时，晶体的形变与 图 (b）相似；当Fy ＜0时，则与图（c）相似。由此可见，晶体在y（即机械轴）方向的力 Fy作用下，在x方向产生正压电效应，在y、z方向同样不产生压电效应。 反之，若沿x方向对晶片施加一电场，强度 。 根据逆压电效应，晶体在x轴方向将产生伸缩 ，即逆压电效应： 〈2〉当沿Y轴方向受Fy力作用时，在垂直于X轴平面上产生电荷。 若在同一切片上，沿机械轴y方向施加应力 ，则仍在与x轴垂 直的平面上产生电荷 ，其大小为 二、压电陶瓷的压电效应 陶瓷片内的极化强度总是以电偶极矩的形式表现出来，即在陶瓷的 一端出现正束缚电荷，另一端出现负束缚电荷。由于束缚电荷的作用 ，在陶瓷片的电极面上吸附了一层来自外界的自由电荷。这些自由电 荷与陶瓷片内的束缚电荷符号相反而数量相等，它屏蔽和抵消了陶瓷 片内极化强度对外界的作用。 如果在陶瓷片上加一个与极化方向平行的压力F，陶瓷片将产生压 缩形变。片内的正、负束缚电荷之间的距离变小，极化强度也变小。 释放部分吸附在电极上的自由电荷，而出现放电现象。当压力撤消后