多孔氧化铝制备及其传感特性的研究.pdfVIP

摘要 摘要 表面等离子体共振技术是一项简单直接的传感技术，可以通过测量金属表面附近 介质折射率的变化，来研究物质的性质。表面等离子体共振传感技术近年来在实现方 式、仪器开发和应用领域扩展上都获得了飞速的发展。随着现代纳米技术的发展，周 期结构金属薄膜成为了实现传感器件的一种新手段。本文主要通过多孔阳极氧化铝实 验，制备出周期结构金属薄膜，并以此为基础，应用于表面等离子体共振传感器中。 论文的主要内容包括： 一、实验制备出多孔氧化铝。详细研究了阳极氧化铝膜的制备方法及影响因素， 并通过扫描电镜观察氧化膜的微观形貌，研究了预处理过程、电压的大小、电解液的 种类、反应温度等对所制备的阳极氧化铝模板的影响。 二、 将多孔氧化铝应用于表面等离子体共振传感器中。以制备出的多孔氧化铝 为基础，分别观察研究了单层结构和双层结构的表面等离子体共振现象，并对两种结 构进行比较分析。此外，通过改变环境介质的折射率，分别观察了单层结构和双层结 构表面等离子体共振峰位的移动情况，并比较了两种结构下传感器的灵敏度。 关键词： 薄膜光学，多孔氧化铝，表面等离子体共振，传感器，灵敏度 AbSn．aCt Abstract isa direct technology．It Surface resonance sensing plasmon technologysimple ofthemetalsurfaceto the therefractiveindex themedium study canmeasure through resonance ofmatter．Recent plasmon sensingtechnology properties years，surface of in and devdopment rapidexpansion gained modemnanometer withthe of technology, fields．Alongdevelopment application realizationof beanewmethodthe metalfilmstructureCan structured periodically metalfilms sensor．Inthis structured surface resonance paper,periodically plasmon silver the asilve