微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正.pdfVIP

第 23卷 第 1O期 光学 精密工程 V01．23 No．1O 2015年 1O月 OpticsandPrecisionEngineering Oct．2O15 文章编号 1004—924X(2015)10—2794-09 微球表面形貌检测中的偏心误差分析与修正 卢丙辉，刘国栋 ，孙和义，刘炳国 陈凤东 (哈尔滨工业大学 电气工程及 自动化学院，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要：由于使用传统的误差修正方法进行微球形貌检测会有过大的残差 ，本文提出了一种新的偏心误差修正方法来提高 微球表面形貌检测的精度和效率。在分析了横向偏心和轴向偏心引入光程差数学模型的基础上，推导了偏心误差的高 阶近似模型，提出了小曲率半径下基于Zernike多项式拟合的偏心误差修正方法，并给出误差修正的流程及相关参数的 标定方法。通过对 2mrn直径的微球的表面形貌检测验证了所提出误差修正方法的可行性和有效性。结果表明：相对 于零条纹时的形貌误差基准，采用本文提出的方法修正后的残余形貌误差峰谷 (PV)值为0．0815k，均方根 (RMS)值为 0．016lX，比传统方法修正效果更好，能够满足高精度微球形貌检测的需求。 关 键 词 ：表面形貌检测 ；微球 ；偏心误差 ；Zernike多项式拟合 中图分类号 ：TH703；TB92 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2794 Analysisandcorrectionofeccentricityerrors inmicrospheresurfaceinspection LU Bing—hui，LIU Guo—dong ，SUN He—yi，LIU Bing—guo，CHEN Feng—dong (SchoolofElectricalEngineeringandAutomation， HarbinInstituteofTechnology ，Harbin150001，China) *C0rrPp0 ，zgauthor，E-mail：lgd@hit．edu．cn Abstract：When traditionalerrorcorrectionmethodsareused inmicrospheresurface inspection，it mightshow alargerresidua1．Therefore，thispaperproposesasurfacetopographyto correcttheec— centricityofmicrosphereandtoimprovethemeasuringprecisionandefficiency．Basedontheanalysis ofmathematicmodelofopticalpath differenceintrodueedbythe1ateralandaxialeccentricities，the high—orderapproximationmodelofeccentricity errorwasdeduced．A eccentricitycorrection method forsmallspherecurvatureradiuswasproposedonthebasisofZernikepolynomialsfitting．Thecor— rectionflow wasprovidedforillustratingthedetail，andthecorrespondingcalibrationmethodofrela— tiveparameterswasgiven．Anexperimentforthesurfacetopographyofamieropherewithadiameter of2mm wasperformedtoverifythefeasibilityandeffectivenessofthecorrectionmethod．Theexperi— mentalresultsrelativetothes