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第一章 真空技术基础 1.1 真空的基本知识 1.2 稀薄气体的基本性质 1.3 真空的获得 1.4 真空的测量 1.1真空的基本知识 1.1.1真空的定义及单位 真空的单位 气压单位——Torr，mmHg，pa，atm，bar, mbar 1958年，Torr（托）代替mmHg，二者基本相等。 1971年，国际计量会议确定Pa（帕斯卡）为国际单位。 1 Pa＝1 N/m2=7.5×10-3 Torr, 1 Torr=133.32 Pa 1 atm＝760 Torr 1 bar=105 Pa。 在标准文献上，Pa真空气压的主要单位。但工业上仍然有时延用其它单位。 1.1.2真空区域的划分 镀膜工艺采用真空的主要优点 超高真空的应用 1.1.3 气体与蒸汽 饱和蒸汽压 1.2 稀薄气体的性质 真空下，气体呈稀薄状态。稀薄气体最接近理想气体，可以采用热力学方程进行描述。 1.2.1气体分子的速度分布 1.2.2 平均自由程 1.2.3碰撞次数与余弦散射律 单位时间内，在单位面积的容器壁上发生碰撞的气体分子数称为入射频率。由赫兹-克努曾公式求出： 作业： 试举出工业上利用真空技术的5个例子。 试从荧光灯的发光原理出发，解释荧光灯管为什么要抽真空？ 估算标准状态下空气分子的平均自由程。 （空气分子的平均直径等相关参数请查阅有关文献。） 1.3 真空的获得 真空系统包括：真空容器（真空室）、真空泵、真空计（压力表）及必要的管道、阀门等其他附属设备。任何真空系统不可能达到绝对真空，即P＝0。 1.3.1油封机械泵 最基本的从大气开始工作的真空泵。原理类似于从水槽中一杯一杯舀水，但不同的是真空泵的工作对象是空气，所以在排气时，不能使真空室外的气体进入，所以需要用油来密封，同时又起润滑作用。 1.3.2 油扩散泵 油扩散泵工作原理 扩散泵油的要求 挡板和冷阱 1.3.3涡轮分子泵与罗茨泵 干式机械泵：罗茨泵 1.4真空的测量 1.4.1热偶规 1.4.2 电离规 复合真空计（高低真空测量） 补充内容 1：真空的简易测量方法 补充内容2：循环冷水机 1.冷却水循环使用，防止浪费。？ 2. 水温更低，冷却效果更好。 3.采用纯净水，防止自来水水垢阻塞管道。 补充内容3：真空镀膜系统的操作步骤 关机操作步骤 1.镀膜结束后，先关闭复合真空计电源。 2. 关闭主阀。 3. 关闭扩散泵电源。机械泵继续开动，冷却水不关。 4. 真空室放气。打开钟罩，取件操作完成后再放下钟罩，关闭放气阀。 5.机械泵继续开动至扩散泵完全冷却（约需时30-60分钟）。 6. 切换阀至“钟罩”，对钟罩进行抽气。（密闭钟罩，防止空气污染） 7. 关闭机械泵。 8. 关总电源，关冷却水。 补充内容4：真空检漏 真空系统高真空长时间抽不上去，远低于极限真空，是什么原因呢？ 真空规管老化测量不准？ 更换规管. 真空系统污染？ 彻底清洗真空室。 油扩散泵缺油或油炭化严重？清洗扩散泵，更换新油。 真空阀门关闭不严？重新确认阀门开关。 门封等漏气？重涂真空密封油脂。 微孔漏气？ 真空检漏。 真空检漏是一项专门的技术，难度大，工作量大。需要由经验丰富的工程师来完成。千万不要随意拆卸真空系统，否则老问题没找到，反而增加新的问题。 真空检漏方法： 1、使用真空检漏仪（氦质谱仪）。 2、使用手工简易方法检漏。 补充知识5：真空转动密封 磁流体密封的优势（纳米磁性流体） 1965年美国papell发明一种磁流体是把磁铁矿等强磁性的细微粉末（约0.1nm~10nm）放入水、油类、脂类、醚类等液体中形成稳定分散的一种胶态液体。这种液体在通常离心力和磁场作用下，既不下沉、凝聚又具有磁性，可被磁铁吸引。把这种液态磁性体用于真空转轴密封，称为真空磁流体密封。它与其它密封技术相比有下列优点： ???? (1)磁流体密封真空转轴的摩擦力很小，可减少功耗和提高轴的最高转速（可达120000r/min）。采用低蒸气压磁流体密封，可使真空度维持在10-7Pa以上。 ???? (2)磁流体密封结构简单、维护方便，轴与极靴间的间隙较大，制造精度要求低。 ???? (3)磁流体在密封空隙中是靠磁铁产生的磁场固定的，因此转轴的启动和停止比较方便. 补充知识6：真空度的动态平衡控制 气体流量计 普通流量计采用浮子流量计。高精度流量计采用电子式质量流量计（又称质子流量计） 真空插板阀（抽气速率调节阀） 7.一个真空系统的