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有机铁电薄膜电劳恢复特性研究

目录………………………………………………………………………………………..I 摘要…………………………………………………………………………………………….III Abstract……………….……………………………………………………………………………………….……………….11-, 第一章绪论………………………………………………………………………………………l 1.1铁电性基础………………………………………………………………………………l 1.2铁电聚合物概述…………………………………………………………………………4 1.3铁电薄膜材料的极化疲劳失效问题……………………………………………………5 1.4铁电薄膜材料的应用……………………………………………………………………6 1.4.1铁电存储器……………………………………………………………………….7 1.4.2基于P(VDF.TrFE)的FeFET…………………………………………………….9 1.5基于透明氧化物半导体的FeFET………………………………………………………9 1.5.1 0 IGZO简介……………………………………………………………………….1 1.5.2 0 IGZO薄膜的制备方法………………………………………………………….1 1.5.3IGZO薄膜的低温制备问题…………………………………………………….12 1.5.4MOS电容结构的C.V特性…………………………………………………….12 1.6论文主要内容和结构…………………………………………………………………..14 第二章铁电薄膜的制各与表征……………………………………………………………….15 2.1铁电薄膜样品的制备………………………………………………………………….15 2.2铁电薄膜表面形貌的AFM表征………………………………………………………..16 2.3铁电薄膜的电学表征…………………………………………………………………..19 2.4本章小结………………………………………………………………………………..21 第三章铁电聚合物极化疲劳恢复研究…………………………………………………………22 3.I实验样品的制备和表征………………………………………………………………..22 3.2紫外辐照对疲劳速率的影响…………………………………………………………..24 3.3紫外辐照对极化疲劳恢复的影响………………………………………………………27 3.3.1紫外辐照时间对疲劳恢复的影响………………………………………………29 3.3.2不同偏压下紫外辐照对极化疲劳恢复的影响…………………………………30 3.3.2.1偏压值大小对极化疲劳恢复的影响…………………………………………31 3.3.2.2偏压极性对极化疲劳恢复的影响……………………………………………34 3.3.3紫外光强度对极化疲劳恢复的影响……………………………………………37 3.3.4关于多次疲劳恢复的研究………………………………………………………39 3.4讨论………………………………………………………………………………………………………………….41 3.4.1紫外辐照对铁电薄膜的影响……………………………………………………41 万方数据 有机铁电薄膜电疲劳恢复特性研究 3.4.2印记失效…………………………………………………………………………43 3.5本章小结…………………………………………

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