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有机铁电薄膜电劳恢复特性研究
目录………………………………………………………………………………………..I
摘要…………………………………………………………………………………………….III
Abstract……………….……………………………………………………………………………………….……………….11-,
第一章绪论………………………………………………………………………………………l
1.1铁电性基础………………………………………………………………………………l
1.2铁电聚合物概述…………………………………………………………………………4
1.3铁电薄膜材料的极化疲劳失效问题……………………………………………………5
1.4铁电薄膜材料的应用……………………………………………………………………6
1.4.1铁电存储器……………………………………………………………………….7
1.4.2基于P(VDF.TrFE)的FeFET…………………………………………………….9
1.5基于透明氧化物半导体的FeFET………………………………………………………9
1.5.1 0
IGZO简介……………………………………………………………………….1
1.5.2 0
IGZO薄膜的制备方法………………………………………………………….1
1.5.3IGZO薄膜的低温制备问题…………………………………………………….12
1.5.4MOS电容结构的C.V特性…………………………………………………….12
1.6论文主要内容和结构…………………………………………………………………..14
第二章铁电薄膜的制各与表征……………………………………………………………….15
2.1铁电薄膜样品的制备………………………………………………………………….15
2.2铁电薄膜表面形貌的AFM表征………………………………………………………..16
2.3铁电薄膜的电学表征…………………………………………………………………..19
2.4本章小结………………………………………………………………………………..21
第三章铁电聚合物极化疲劳恢复研究…………………………………………………………22
3.I实验样品的制备和表征………………………………………………………………..22
3.2紫外辐照对疲劳速率的影响…………………………………………………………..24
3.3紫外辐照对极化疲劳恢复的影响………………………………………………………27
3.3.1紫外辐照时间对疲劳恢复的影响………………………………………………29
3.3.2不同偏压下紫外辐照对极化疲劳恢复的影响…………………………………30
3.3.2.1偏压值大小对极化疲劳恢复的影响…………………………………………31
3.3.2.2偏压极性对极化疲劳恢复的影响……………………………………………34
3.3.3紫外光强度对极化疲劳恢复的影响……………………………………………37
3.3.4关于多次疲劳恢复的研究………………………………………………………39
3.4讨论………………………………………………………………………………………………………………….41
3.4.1紫外辐照对铁电薄膜的影响……………………………………………………41
万方数据
有机铁电薄膜电疲劳恢复特性研究
3.4.2印记失效…………………………………………………………………………43
3.5本章小结…………………………………………
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