高气压辉光放电其开关电源的研究.pdfVIP

摘摘 要要 摘摘 要要 微空心阴极放电(MHCD)是在普通空心阴极放电的基础上提出的一种高气压下 MHCD ( ) 亚毫米级微放电技术 将 作为大体积辉光放电的外部电离源 即等离子体源 可以解决高气压下大体积辉光放电不稳定的问题 本文首先对微空心阴极放电基本 原理的研究进展进行了综述 然后详细论述了微空心阴极维持辉光放电(MCSD)和放 电等离子体源 以及MCSD 的放电参数和运行方式对产生大体积高压辉光放电等离 子体源的影响 最后 再对微空心阴极维持辉光放电的结构特点进行了详细介绍 并对其放电特性进行了实验讨论 在 MCSD 实验的基础上 MCSD / 研制出可对 气体放电模式 连续脉冲 和输 出功率进行调控的开关电源 文中详细论述了开关电源的主电路 控制电路和驱动 电路的组成及设计 此外 这种开关电源还可以跟单片机 微机等其他外部控制设 备相连 此开关电源采用全桥软开关技术 串联谐振并联输出 四个MOSFET 管为 主控制元件 实现了高频工作 响应快速 脉冲模式工作时避免了开关管的硬开关 减小了高次谐波对电网干扰 无需镇流电阻也可实现气体稳定放电 关键词关键词 微空心阴极放电 微空心阴极维持的辉光放电 关键词关键词 高气压辉光放电等离子源 串联谐振开关电源 I Abstract Micro-hollow cathode discharge (MHCD) is a newly advanced micro-discharge technique based on ordinary cathode discharge in a sub-millimeter level micro-hollow under high pressure. MHCD can be used as plasma cathodes for the large-volume high-pressure glow discharge to solve the instability of glow discharge. At first, an overview of the research progress on the fundamental theory of the MHCD is presented. The micro-hollow cathode sustained glow-discharge (MCSD) is discussed in particular, and then the discharge plasma source is introduced. The influence of operation mode and the discharge parameters of the MCSD on the large-volume high-pressure glow discharge plasma sources are analyzed. Finally, the structural design of MCSD is discussed in detail and the discharge characteristics of MCSD are discussed experimentally. On the basis of the MCSD e