三乙醇胺含量对化学浴法制备硫化铜薄膜的影响.pdfVIP

第50卷 第4期 西 南 交 通 大 学 学 报 V01．50 No．4 2015年 8月 JOURNALOFSOUTHWESTJIAOTONGUNIVERSITY Aug．2015 文章编号：0258-2724(2015)04-0698-05 DOI：10．3969／j．issn．0258-2724．2015．40．019 三乙醇胺含量对化学浴法制备 硫化铜薄膜的影响 范希梅 ， 张冯章 ， 李湘奇 ， 邬小凤 ， 范 健 ， 黄瑶翰 ， 李广立 (1．西南交通大学材料科学与工程学院，四川成都610031；2．西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室 ， ~t)sl成都 61~31) 摘 要：为了研究三乙醇胺 (TEA)在化学水域沉积法工艺中的作用 ，本文以氯化铜 ，硫脲，氨水和三乙醇胺为 原料，采用化学浴沉积法在玻璃基底表面成功制备了硫化铜薄膜．研究了三乙醇胺不同含量对薄膜的厚度、结 构，、形貌和光学性能的影响，并分析了反应机理．研究结果表明：三乙醇胺在反应中起到络合剂的作用，随着三 乙醇胺含量的增加，反应诱导时间延长到23rain；沉积时间相同的情况下，组成薄膜的颗粒粒径变大且薄膜增 厚240nm，同时透射率呈现出减小的趋势． 关键词：硫化铜薄膜；化学浴沉积法 ；三乙醇胺；络合剂 中图分类号：0649 文献标志码：A InfluenceofTriethanolamineContentonCuSThinFilms PreparedbyChemicalBathDeposition FAN Ximei ， ZHANGFengzhang 一， LIXiangqi。 ， 删 Xiaofeng一， FAN Jian ， HUANGYaohan ， LIGuangli， (1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering，SouthwestJiaotongUniversity，Chengdu610031，China；2．Key LaboratoryofAdvancedTechnologiesofMaterials，Ministry ofEducation，SouthwestJiaotongUniversity，Chengdu 610031，China) Abstract：Inordertostudytheeffectoftriethanolamine(TEA)onchemicalbathdepositionprocess， CuSthin filmswere successfully deposited onto glasssubstratesby chemicalbath deposition using copperchloride，thiourea，ammonium andTEA asraw materials．The effectsofTEA contenton thickness，structure，morphology and opticalpropertiesofthe obtained filmsand the deposition mechanism wereinvestigated．Theresultsshowed thattheTEA could actasa complexingagentto maintainthereactionstability．AstheTEA contentincreased，theinductiontimeofreactionincreased to23 min，the filmsexhibited biggerparticles sizesafterthe same deposition time，and the film thicknessincreased to 240 nm．In addition，the tra