实用-第9次课要点.pptVIP

人卵子的电子显微镜彩色强化扫描图 （２）X－射线 　 又称伦琴射线，波长约0.0001~l0nm。电子探针轰击样品时，可产生特征X-射线和连续X-射线。其中特征X射线的波长和能量随样品中各种元素的不同而各异。我们根据这一性质可以对样品中的某些元素进行定性和定量的分析。X射线主要反映样品深层(约50~500nm)的某些信息。 （３）背散射电子 　　又称背反射电子，是被样品大角度反射回来的入射电子。它主要反映样品内部较深层 (约50~100nm)原子的质量信息。另外晶体样品的特征也是利用背散射电子的衍射图反映出来的。 二、扫描电镜的成像原理 二次电子成像在扫描电镜成像过程中起主导作用。当电子探针与样品相互作用时，由于样品浅表层的形貌、成分和结构等的不一致，在多种效应的综合作用下： 对图像的反差起主导作用的样品表面的凹凸效应 可增加图像的立体感的倾斜角效应 导致图像边缘过亮，反差不自然的边缘效应 与反射电子的数量有关的原子序数效应 以及加速电压效应等 １.二次电子的成像 从样品的不同区域所激发出的二次电子的数量是不同的，那么先后转换的电信号和电压信号也相应的差异，最终导致在荧光屏上的图像中与其相对应的位置上的明暗也有差异。这种在荧光屏上可反映样品信息的图像被称为二次电子图像。 　　首先，扫描电镜的电子枪发射的电子束经1~40kV的高压形成加压电子束，在聚光镜的汇聚作用下，又形成直径约3~10nm的电子探针。 　　接着，电子探针在扫描线圈崎控制下对样品的表面进行光栅状扫描(犹如一行行地读横版的书)，并激发出多种带有样品信息的电信号，其中二次电子、特征X射线和背散射电子与扫描电镜的成像关系密切。 2.扫描电镜成像的原理 如:样品中凸出的部位会产生较多的二次电子，而二次电子的数量越多，转换成的电压信号也越强，图像中相应的部位就越亮。特征X射线可以反映样品中元素的种类和数量的信息。而背散射电子的散射方向是不规则的，主要受原子质量和密度的影响，也可以反映样品表面元素组成上的差异，尤其适宜观察样品表面凹洼的区域，这一特点正好与二次电子的成像互补。 　　上述这些电信号经不同的检测器收集后，被转换成带有样品信息的电压信号，这种电压信号被送入显像管的栅极，并能控制显像管的图像的亮度等。需要强调的是，电子探针在样品表面的扫描，与供观察、拍照的两个显像管中的电子束在荧光屏上的扫描是同步进行的，这样就便电子探针在样品表面扫描时所产生的信息，也以动态的形式一点点地同步反映到两个荧光屏上了，使我们得以观察和记录。 * 第一节　扫描电镜的基本构造 第二节　扫描电镜的成像原理 第三节　扫描电镜的性能与应用 第六章　扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscope (SEM) 韩国MIRERO扫描电镜AIS2100 ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? 电镜扫描的结构示意图 电子光学系统（镜筒） 信号检测与转换系统 信号显示与记录系统 真空系统与供电系统 第一节　扫描电镜的基本构造 扫描电镜 电子光学系统（镜筒） 样品室 真空系统与供电系统 二次电子检测器 信号显示与记录系统 电子枪 系列聚光镜 扫描线圈（偏转线圈） 信号检测与转换系统 背散射电子检测器 一、电子光学系统（镜筒） １.电子枪 　　其构造、原理和用途与透射电镜相似，也是由阴极、栅极和阳极组成。阴极是V型钨丝，直径只有0.l2mm，当通电加热到一定温度时，尖端即发射出电子束流。在阴极与阳极之间产生的1~４0kV的加速电压的作用下，形成直径约30~5O微米的高速电子束流，我们又常把它称为交叉光点或电子光源。 ２.系列电磁透镜 又称聚光镜，位于电子枪的下方。一般装有2~3级电磁透镜，有汇聚电子束流的作用，能使它的直径缩小到只有3~1Onm，这种极细的电子束又被称为电子探针。 ３.扫描装置 扫描装置即偏转线圈，由两组电磁线圈组成， 可以控制电子探针在X/Y两个方向作光栅状的 扫描。 一般扫描电镜中装备三个偏转线圈，一个用 于电子探针在样品的表面扫描，另外两个可 以控制用作观察和摄影的显像管，使显像管 中的电