用相机测量金刚石膜透光性的研究.pdfVIP

2014年 10 第 5期 金 刚石 与磨料磨具 工程 0ct．2014 第 34卷 总第 203期 Diamond AbrasivesEngineering No．5 Vo1．34 Serial203 用相机测量金刚石膜透光性的研究 罗廷礼 (河北省激光研究所 ，石家庄 050081) 摘要 为了方便测量 、记录和交流金刚石膜的透光性 ，对 用相机测定金刚石膜透光性的技术 问题进行 了 研究。其原理是 由相机的感光度、光圈、快 门速度先得到一张级差为 2O 的25级金 刚石膜透光性的速查 表。漶量中，得知膜的快 门速度后查表 ，即可知膜的透光性级数和透光率。该法表征金 刚石膜透光性的 方式，可适用于多散点单参数膜25级平面坐标 图示法和单散点多参数膜相关信 息元素的多项式法。该 方法怯：速方便 、简单可靠 ，无需大型设备 ，保证 了金 刚石膜的完整性 ，解决了整 片金 刚石膜透光性的测量、 表征和分级的问题 。 关键词 化学气相沉积 ；金刚石膜；透光率 ；测量和分级 中图分类号 TQ164 文献标志码 A 文章编号 1006—852X(2014)05—0017—05 DoI诬}10．13394／i．cnki．igszz．2014．5．0004 M easurementofthelighttransmittanceofdiamondfilmswithacamera LUO Ting—li (HebeiInstituteofLaser，S九_，口 “口g050081，China) Abstract To facilitate the measuring，recording and communicating of the 1ight transmittance of diamondfilms，the technicalproblemsofthe transm ittance measurementofdiamond filmswith a camerawasstudied．Theprinciplewastogetaquickreferencetableofthediamondfilmstransm ittance with3differentialof20 and 25 gradesby thecameras sensitivity，aperture，shutterspeed ．The transmittancegradeandtransmittanceratioofthediamondfilm couldbeknownbylookingupthequick referencetableaftermeasuring theshutterspeed．Therepresentation ofthe lighttransm ittancewas suitable formulti—scatter points，single—parameter，25一grade，plane coordinate graphicmethod and single—scatterpoint，multi—parameter，relatedinformation polynomialmethod．Themethodwasrapid， convenient，simpleandreliablewithnouseoflarge—scaleequipmentandmaintainingtheintegrityofthe diamondfilms． Theproblem ofhow tomeasure，characterizeand gradeawhole diamond film was solvedsuccessfullybythismethod． KeyW—ords chemicalvapordeposition(CVD)；diamondfilm ；transmissivity；measurementand