Influence of Deposition Temperature and Pressure on Microstructure and Tribological Properties of Arc Ion Plated Ag Films.pdfVIP

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2016-02-28 发布于天津
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Influence of Deposition Temperature and Pressure on Microstructure and Tribological Properties of Arc Ion Plated Ag Films.pdf

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Influence of Deposition Temperature and Pressure on Microstructure and Tribological Properties of Arc Ion Plated Ag Films.pdf

CHINESEJ0URNAL0FMECHANICALENGINEERING ·838 · Vo1．25，No．4，2012 DOI：10．3901／CJME．2012．04．838，availableonlineatwww ． springerlink．corn；www．cjmenet．com；www．cjmenet．corn．cn InfluenceofDepositionTemperatureandPressureonM icrostructure andTribologicalPropertiesofArcIonPlatedAgFilms HUMing ，GAOXiaoming，SUNJiayi，WENGLijun，ZHOUFeng，andLIUWeimin， 1StateKeyLaboratoryofSolidLubrication．LanzhouInstituteofChemicalPhysics． ChineseAcademyofSciences，Lanzhou730000,China 2GraduateSchoolofChineseAcademyofSciences,Bejiing100039,China ReceivedMay13，2011；revisedNovember23，2011；acceptedNovember30，2011 Abstract：ThefilmsdepositedatlowtemperaturefL]films1haveincreasinglyattractedtheoreticaIandtechnica¨nterestssincesuch filmsexhibitobviousdifferenceinstructureandperformancescomparedtothosedepositedatroom temperature．Studiesonthe tribologicalpropertiesofLT—filmsarerarelyreportedinavailableliteratures．Inthispaper．thestructure．morphologyandtribological propertiesofAgfilms，depositedatLT(166K)undervariousArpressuresonAISI440Csteelsubstratesbyarcionplating(AlP)，are studiedbyX．raydiffraction(XRD)．atomicforcemicroscopy(AFM)andavacuumbal1on．disktribometer,andcomparedwiththe AgfilmsdepositedatRT(300K)．xRDresultsshow that(2001preferredorientationofthefilmsispromotedatLTandlowAr pressure．TheCrystallitesizesare70nm-80nm forI』r．Agfilmsdepositedat0．2Paand0．8Paandlargerthan100nm for r．Ag filmsdepositedat0．4Paand0．6Pa，whiletheyare55nm 60nm ofrRT-Agfilmsdepositedat0．2Pa-0．6Paand37nm ofrRT_A2 filmsdepositedat08Pa．ThesurfacesofLT—Agfilmsarefibre—likeat0．6Paand0。8Pa．terrace．1ikeat0．4Pa．andsphere—likeat0．2 Pa，whilethesurfacesofR Ag filmsarecomposedofsphere—likegrainsseparatedbyvoids．W eartestsrevealthat．duetothe co