乙醇为碳源的低氢常压CVD法制备石墨烯薄膜及其生长机理研究.pdfVIP

第49卷第3期 原 子 能 科 学 技 术 Vo1．49。No．3 2015年3月 AtomicEnergyScienceandTechnology M ar．2O15 乙醇为碳源的低氢常压 CVD法制备石墨烯薄膜 及其生长机理研究 李 良。，付志兵。，焦兴利。，唐永建 ，王朝阳，易 勇 (1．西南科技大学 材料科学与工程学院，171tJiI绵 阳 621010； ‘2．中国工程物理研究院 激光聚变研究 中心，四川 绵 阳 621900) 摘要 ：以乙醇为碳源，采用低氢常压化学气相沉积(CVD)法在铜基底上制备石墨烯薄膜 ，并将其成功转 移至 目标基底 。通过 SEM、Raman、TEM、选区电子衍射等分析发现 ，所制备的石墨烯薄膜结构完整、质 量 良好 。通过设计实验 ，观察和分析 了石墨烯薄膜生长过程 中主要 阶段 的形貌特征及生长机理 。结果 表 明，乙醇高温分解 出的碳原子在铜基底表面聚集形核，形成 的原始晶粒逐渐长大为岛状 晶畴直至形成 树枝状薄片，并在生长过程 中跨越铜基底表面 晶界，最后形成完整的石墨烯薄膜 。 关键词 ：石墨烯薄膜 ；化学气相沉积法 ；乙醇 ；生长机理 中图分类号 ：TQ177 文献标志码 ：A 文章编号 ：1000—6931(2015)03—0409—06 doi：10．7538／yzk．2015．49．03．0409 CVD SynthesisandM echanism StudyofGrapheneUsingEthanol atLow HydrogenConcentrationandAtmosphericPressure LILiang ，FU Zhi—bing。，JIAO Xing—li，TANGYong—jian ，WANGChao—yang。，YIYong’ (1．SchoolofMaterialsScienceandEngineering， SouthwestUniversityofScienceandTechnology，M ianyang621010，China； 2．ResearchCenterofLaserFusion，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang621900，China) Abstract： The graphene was successfully synthesized by chemicalvapor deposition methodusingethanolascarbon sourceatlow hydrogen concentration andatmospheric pressure．TheresultsofSEM ，Raman，TEM andselectedareaelectrondiffractionshow thatthegraphenehaswell—structureandhigh—quality．In orderto analyzethemecha— nism ，the experiments were designed to obtain the morphology during graphene growth．Itturnsoutthatcarbonatomsoriginatingfrom thethermolysisofethanolgath— erandnucleateoncoppersurface．Theinitialgraindevelopsfrom islanddomaintoden— driticstructure．During theprocessofgrowth，thesedendritescan span the surface boundariesofcopperuntilformingintactgraphene． Keywords：graphene；chemicalvapordep