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第6章 压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料 正压电效应:作用力方向改变时, 电荷的极性也随之改变。 机械能转为电能的现象。 逆压电效应:在电介质极化方向施加电场, 电介质会产生变形的现象。 具有压电效应的材料称为压电材料, 压电材料能实现机—电能量的相互转换. 6.1.1 石英晶体 石英晶体化学式为SiO2, 是单晶体结构。是一个正六面体。 纵向轴 z 称为光轴, 经过六面体棱线并垂直于光轴的 x 轴称为电轴, 机械轴:与 x 和 z 轴同时垂直的轴 y。 纵向压电效应:沿电轴x 方向的力作用下产生电荷的压 电效应. 横向压电效应:沿机械轴y 方向的作用下产生电荷的压 电效应. 沿光轴z 方向受力时不产生压电效应。 6.1.3 压电式传感器 基本原理:利用压电材料的压电效应的特性,当有力作用在压电材料上时,传感器就有电荷(或电压)输出。 单片压电元件产生的电荷量甚微,为了提高压电传感器的输出灵敏度,在实际应用中常采用两片(或两片以上)同型号的压电元件粘结在一起。 每片受到的作用力相同,产生的变形和电荷数量大小都与单片时相同。 并联接法:两个压电片的负端粘结在一起,中间插入的金属电极成为压电片的负极,正电极在两边的电极上。类似两个电容的并联。 并联接法:外力作用下正负电极上的电荷量增加了1倍,电容量也增加了1倍,输出电压与单片时相同。 串联的,电荷量与单片时相同,总电容量为单片的一半,输出电压增大了l倍。 并联接法输出电荷大,本身电容大,时间常数大,适宜用在测量慢变信号并且以电荷作为输出量的场合。串联接法输出电压大,本身电容小,适宜用于以电压作输出信号,测量电路输入阻抗很高的场合。 最常使用的是厚度变形的压缩式和剪切变形的剪切式两种。 6.2 测量电路 6.3 应用 6.3.3 金属加工切削力测量 当进行切削加工时, 切削力通过刀具传给压电传感器, 压电传感器将切削力转换为电信号输出, 记录下电信号的变化便测得切削力的变化。 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 + _ U’ _ + + + + + + + + + + + + _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ ++ + + + + + + + + + + _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ 电路串联 + _ + _ U’ 电路并联 + + + + + + + + + + + _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ _ + + + + + + + + + + + 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.2.1 等效电路 压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时, 它也是一个电容器, 晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的两个极板, 极板间物质等效于一种介质, 其电容量为 Ca= 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 可等效为一个与电容相并联的电压源。 Ua = 还可以等效为一个电荷源。 连接电缆的等效电容Cc, 放大器的输入电阻Ri, 输入电容Ci以及压电传感器的泄漏电阻Ra. 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.1 压电传感器等效电路 ?压电元件电荷Q的开路电压U可等效为电源与电容串联或等效为一个电荷源Q和电容Ca并联。 等效电容 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 传感器原理及应用 第6章 压电式传感器 6.4 等效电路与测量电路 6.4.1 压电传感器等效电路 电压灵敏度 电荷灵敏度 它们之间的关系 等效电压源 等效电流源 6.2.2 测量电路 需要接入一个高输入阻抗的前置放大器:放大传感器输出的微弱信号: 有: 电压放大器和电荷放大器。 1. 电压放大
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