基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响.pdfVIP

第 17卷第6期 粉末冶金材料科学与工程 2012年 12月 、，0l_17No．6 M aterialsScienceandEngineeringofPowderMetallurgy Dec．2Ol2 基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响 余志明 一，张益豪 ，魏秋平 一，龙 芬 ，阳泰明 ，刘丹瑛 1．中南大学 材料科学与工程学院，长沙 410083； 2．中南大学 粉末冶金国家重点实验室，长沙 410083 摘 要：采用热丝化学气相沉积法 H_FCvD 在钛合金 Ti6A14V 表面沉积金刚石薄膜，研究基体温度对金刚石形核 的影响，及梯度降温CVD技术 II高温梯度降温形核一低温生长 对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和 附着性能的影响。利用扫描电镜 SEM 、激光拉曼光谱 Raman 和维氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着 性能。结果表明：基体温度较高时，基体表面钛原子和活性碳原子具有更高的能量，更利于活性碳原子向基体的 扩散，促进碳化钛的形成，最终延长金刚石的孵化期；采用高温形核-1氐温生长的梯度降温法可以在 550～600℃ 下沉积质量良好的金刚石薄膜；基体温度在30min内从800℃逐渐降温至550℃后再生长7h，所得金刚石薄膜 样品具有较好的附着性能。 关键词：热丝化学气相沉积；金刚石薄膜；Ti6A14V；形核；TiC层 中图分类号：TB43