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台北科技大學 陳良銅技師 外氣空調箱與FFU應用之節能探討 請尊重智慧財產權，未經允許請勿翻印。陳良銅技師編著 電子廠潔淨室空調系統簡介 大綱 潔淨室系統型式 風管系統 FFU系統 軸流風機系統 潔淨室空調系統型式 風管系統 FFU系統 軸流風機系統 風管系統(循環空調箱兼處理外氣) FFU系統(獨立設置外氣空調箱) 軸流風機系統(獨立設置外氣空調箱) 潔淨等級 製程線寬與潔淨度之關係 電子廠濕空氣處理程序 電子廠概念圖 電子廠平面配置概念圖 電子廠剖面概念圖 MAU + 空氣循環系統 外氣空調箱功能 壓力之控制 濕度之控制 外氣微塵粒之預處理 氣態分子之控制 空氣循環系統 FFU系統 壓力分佈 天花板構造 → 乾式 排煙系統 → 洩漏 → 結露 溫度分佈與控制 外氣處理空調箱 潔淨室熱源分佈 FFU系統示意圖 FFU系統排煙 軸流風車系統示意圖 軸流風車系統排煙 祝大家 * * * 主講人：陳良銅技師 潔淨度與製程良率 潔淨等級 製程線寬與潔淨度 濕空氣處理程序 加熱 冷卻 冷卻除濕 加濕 大型電子廠架構 概念圖 MAU與空氣循環系統 外氣處理空調箱 FFU系統 軸流風機系統 以風管輸送潔淨空氣 循環空調箱兼處理外氣 天花空間為正壓氣室 獨立設置外氣空調箱 天花空間為微負壓氣室 獨