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MF5000系列 气体质量流量计 SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS 使用说明书 © 2010 Siargo Ltd. MF5000系列气体质量流量计 使用须知 1. 产品仅适用于工业环境范围内的气体测量、监测和控制。其他环境内的使用 应严格禁止。 2 . 产品在清洁气体的环境中使用最佳；不适用于有大量粉尘、油污及多相流的 环境中；对于有大量水汽的环境，请事先与厂商联系。 3. 在使用产品前请仔细阅读说明书。 4 . 在使用或应用本产品时，应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安全注 意事项和规程。 5. 如对说明书有任何疑问，请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明书的客 户服务部分。 6. 矽翔微机电系统有限公司及其分公司、子公司、办事处及其它附属机构将不 为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。 注意事项 1. 产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。 2 . 安装时应注意气体流向标志，连接和检漏应按相应规程进行。 3. 在产品使用过程中，或在在线情形下，清洗管道或其他可能引入大量杂质的 操作将可能对产品带来损坏。 1 www .Siargo . 矽翔MEMS流量产品系列 目录 使用需知 1 注意事项 1 目录 2 一、概述 3 二、产品分类形式及选型说明 3 三、产品结构 与工作原理 4 四、技术指标 5 五、安装说明 5 六、功能说明 6 七、检定 7 八、安全、维护及故障排除 7 九、运输及储存 8 十、开箱及检查 8 十一、客户服务及技术支持 8 附录：应用说明