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MF5000系列气体质量流量计.pdf
MF5000系列
气体质量流量计
SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS
使用说明书
© 2010 Siargo Ltd.
MF5000系列气体质量流量计
使用须知
1. 产品仅适用于工业环境范围内的气体测量、监测和控制。其他环境内的使用
应严格禁止。
2 . 产品在清洁气体的环境中使用最佳；不适用于有大量粉尘、油污及多相流的
环境中；对于有大量水汽的环境，请事先与厂商联系。
3. 在使用产品前请仔细阅读说明书。
4 . 在使用或应用本产品时，应严格遵循相应有关的操作规范和操作人员安全注
意事项和规程。
5. 如对说明书有任何疑问，请及时与厂商联系。联系方式请参阅本说明书的客
户服务部分。
6. 矽翔微机电系统有限公司及其分公司、子公司、办事处及其它附属机构将不
为任何因不当使用本产品带来的损害负责。其它事宜以销售合同为准。
注意事项
1. 产品只有在本手册界定的使用环境中才能正常工作。
2 . 安装时应注意气体流向标志，连接和检漏应按相应规程进行。
3. 在产品使用过程中，或在在线情形下，清洗管道或其他可能引入大量杂质的
操作将可能对产品带来损坏。
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矽翔MEMS流量产品系列
目录
使用需知 1
注意事项 1
目录 2
一、概述 3
二、产品分类形式及选型说明 3
三、产品结构 与工作原理 4
四、技术指标 5
五、安装说明 5
六、功能说明 6
七、检定 7
八、安全、维护及故障排除 7
九、运输及储存 8
十、开箱及检查 8
十一、客户服务及技术支持 8
附录：应用说明
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