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MFC-1000 气体质量流量控制器 用户说明书 上海睿熹科技有限公司 ShangHai WiseChoose Technology Co.,Ltd MFC-1000 气体质量流量控制器 MFC-1000 气体质量流量控制器 产品特点 高精度气体质量流量控制器 取代传统的手动调节的气体控制部件即气体稳压阀、稳流阀和针形阀 采用独特的CMOS 兼容MEMS 工艺制造的气体质量流量传感器 气体流量数字化标定，进行温度补偿 快速响应时间（设定值2%范围内0.5s ） 输出方式灵活，采用数字化输入/输出接口（RS-232 ），可根据用户需求量身定做通讯模 式 具有多款符合不同用户需求的气体质量流量控制器（根据不同气体量程和控制精度） 气体流量量程： 0～50 SSCM 0～100 SSCM 0～200 SSCM 0～500 SSCM 0～1000 SSCM 连接尺寸与其它的标准质量控制器兼容 产品应用 研究实验室的试验工场装置； 分析仪器（气相色谱仪）、环境设备气体流量控制； 食品的加工控制； 化学和石化工业的气体流量监控； 发酵和生物技术； 质量控制和泄漏探测系统； 气体混合和环境的控制； 燃烧控制； 半导体制造业； 表面处理装置； 气体分配消费量测量； 探测物体气体泄漏等； 主要技术指标 规格 条件 数值 单位 范围： 产品型号 MFC-1000 A 型 B 型 C 型 D 型 E 型 流量范围 标准气N2 0～50 0～100 0～200 0～500 0～1000 SCCM 性能指标： 精度 10～100%FS ±0.2 ±0.1 ±0.05 ±0.1 ±0.2 %F.S （分辨率） 10%FS ±0.2 ±0.1 ±0.05 ±0.2 ±0.4 %F.S 准确度 ±1.5 ±1.5 ±1.5 ±1.5 ±1.5 %F.S 重复精度 ±0.2 ±0.2 ±0.2 ±0.3 ±0.3 %F.S 响应时间 设定流量值 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 S 上海睿熹科技有限公司 2 MFC-1000 气体质量流量控制器 2%范围内 工作压差范围 100～700 200～700 350～700 100～200 100～200 Kpa （在以上的 （在以上的 精度范围内） 精度范围内） 耐压 1 Mpa 标准标定气体 以氮气（N2 ）和自定义4 种气体 工作环境温度 5℃～45 ℃ ℃