热式气体质量流计的研制.pdfVIP

摘要 摘要 Mass Flowmeter)基于对流换热的原理测量气体 热式气体质量流量计(Thermal 流量，起源于60年代末期。随着微电子技术的发展，测量手段和补偿方法得到了 很大的提高。热式气体质量流量计具有可测微小流量、稳定性和可靠性高、压力 损失极小、量程比高、安装方便、重复性好、造价合理等特点，广泛应用于半导 体工业领域中气体流量的测量，如空气、天然气、煤气、汽车尾气、医疗事业中 的氧气和麻痹剂、采暖通风的测量，以及混合气体的测量。 本课题设计了一种具有自动温度补偿能力的热式气体质量流量计。在确定设 计方案之前对国内外的学术文献和研究成果进行了大量的调研和分析，力求在结 构简单、成本合理的基础下，尽量提高流量计的精确度和可靠性。 设计初期本文对热式质量流量计的测量原理进行了详细的介绍和分类，在此 基础上按照采样电路将设计方案分为恒流测量法和恒温测量法两类。通过分别建 立物理模型、对比仿真数据和曲线姿态，确立了本课题的设计方案，并在此基础 上提出了新型的温度补偿电