2008春纳米材料的表征技术.pptVIP

OUTLINE 扫描电子显微镜 透射电子显微镜 原子力显微镜 激光共聚焦扫描显微镜 激光粒度仪 zeta电位仪 显微镜的发展史 第一代：光学显微镜(Optical Microscope) 1830年，为M.Schleide和T.Schmann所发明, 至今仍是主要的显微工具。 极限分辨率是200纳米。 第二代：电子显微镜(Electron Microscope) 20世纪30年代早期E.Ruska发明了电子显微镜，使人类能”看”到病毒等亚微米的物体，它与光学显微镜一起成了微电子技术的基本工具。 扫描电子显微镜Scanning Electron Microscope （SEM），分辨率6-10nm 透射电子显微镜Transmission Electron Microscope （TEM），分辨率0.2nm 第三代：扫描探针显微镜(Scanning Probe Microscope，SPM) 1981年Gerd Binnig Heinrich Rohrer发明扫描隧道显微镜（STM） 1985年C.F.Quate发明可适用于非导电样品的原子力显微镜（ Atomic Force Microscope , AFM）构建了扫描探针显微镜（SPM）系列。 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写为SEM (Scanning Electron Micro