光学薄膜检测技术课件.ppt

光学薄膜检测技术 综述 测试技术是一门学科 测试技术的重要性 只要能测的出来的特性，就一定能制备的出来 元件制备出来了，但不知性能怎样 性能测出来了，但不知测的准不准 光学薄膜测试技术的发展 随着薄膜制备技术的发展与应用技术的发展而发展，不断更新不断进步 反射 透射 散射 吸收 折射率 厚度 应力 附着力 组分 结构 光学薄膜检测技术 光学特性 光学参数 非光学特性 薄膜厚度和折射率的测量 厚度测量 台阶仪 干涉法 具有台阶样品的制备 胶带纸 刀片 对于干涉法，在台阶样品基板上全部镀上不透光的金属膜 消除位相跃变的影响 L ΔL 薄膜厚度和折射率的测量 折射率测量 方法很多，最简单最普遍方法是测量单层薄膜在中心波长位置的R，由 得到薄膜折射率 精确测量的方法有布儒斯特角法 改变偏振光的入射角，当膜层反射光强与基底反射光强一致时，这时的入射角就是布儒斯特角，有 tgφ0＝n，即得到薄膜折射率 薄膜透过率和反射率的测量 常用测量方法 分光光度计 其它方法 根据元件的特殊要求建立相应的一些测量装置 薄膜透过率和反射率的测量 常用测量方法 分光光度计 其它方法 根据元件的特殊要求建立相应的一些测量装置 分光光度计 基于光谱分光原理 单光路 分光光度计 基于光谱分光原理 双光路 双光路分光光度计结构示意图 光源及单色部分 分光部分 样品室 探测器部