微结构超声复合电加工技术.pfg.pdfVIP

陶建松微结构超声复合电加一亡技术 摘 要 本文介绍了微结构在摩擦学与微机械领域的研究与应用情况，概述了微细超声加工、 微细电解加工、微细电火花加工、超声复合电加工技术及国内外研究现状；进行超声复合 微细电解、电火花加工应用基础研究，为微结构加工研究出一种高效、高精度、低成本的 新工艺。 分析微细超声加工、微细电火花加工、微细电解加工等微细特种加工技术原理、特点 和工艺局限性，探讨了超声复合微细电火花加工、超声复合微细电解加工的原理，研究了 超声振动对于微细电火花、微细电解加工过程状态影响，在机理上论证了超声复合电加工 的技术优势。 构造、完善超声复合微细电加工系统，超声装置采用压电换能器、数字超声发生器， 可自动反馈、跟踪超声振动加工系统(换能器、交幅杆、工具电极与工件)的固有频率变 化，保证加工在系统的共振频率点，即超声振动有最大振幅；采用可调节磁悬浮张力工作 台蠕动进给机构，保持工具与工件间设置的工作压力；设计、研制了超声同步斩波器，实 现了超声频振动与脉冲电解加工的同频同步，可有效提高加工精度。 微细加工工具电极尺寸微小，制作精度要求高、难度大，其设计、制作是微细加工的 关键技术与难点之一。设计了多种截形