中小功率射频激colt;,2gt;激光器电源的研究.pdf

摘 要 在中小功率激光器加工领域，射频激励CO2 激光器由于其卓越的性能而得到了 广泛的应用。本文重点对中小功率射频激励CO 激光器电源系统进行了研究，并以 2 射频电源的研制为重点，较为详细的介绍了射频电路分析和设计的一些基本知识， 同时对整个激光器电源系统进行了分析。 射频激励CO2 激光器电源的负载就是放电气体，射频的传输其实就是一个波的 过程，所以负载的特性将会影响激光器电源射频功率的注入。本文较为详细分析了 CO2 激光器气体的放电原理，功率因素，具体计算CO2 激光器放电理论模型，分析 CO 激光器中气体的成分，对气体放电的增益，效率和功率做出理论推导。在此基 2 础上建立了射频激励CO2 激光器放电气体等效电路，为射频电源的成功研制准备了 必要的条件。 在高频条件下，杂散电容和杂散电感对电路的影响非常大，所以射频电路无论 是分析方法还是设计应用都与低频电路存在很大的不同。为了能更加清楚地从理论 上说明问题，同时也为了以后技术更新的需要，对于射频电路的一些知识，比如元 器件的射频特性、射频网络的知识、以及射频和微波电路分析设计所用到的散射参 量等