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3.155j6.152j课件22流体实验测试
3.155J/6.152J 课件 22:
流体实验测试
Prof. Martin A. Schmidt
麻省理工学院
12/ 1/2003
通知
?测验
?周三, Dec. 3, 堂测试
?闭卷
涉及10/15到11/26的课件
不包括实验课件
?需要的话,提供一张公式表
th
? 星期一, Dec. 8 的上 内容
?MEMS模拟装置的介绍
?我们将在下午2:35下
? 这节 后的 程评价
秋季课程 2003 M.A. Schmidt 3.155J/6.152J 课件 22 幻灯片 2
大纲
?工艺和测试的回顾
?应用流体学
?纳维-斯托克斯方程的解答
?扩散问题的解答
?实验报告的指导
?参考文献
? Senturia, 微观 统设计, Kluwer
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