纳米二氧化硅水溶胶的制备技术.docVIP

1、成果名称：材料表面超精密加工纳米浆料的制备与工艺技术 项目简介 本项目发明的系列碱性纳米浆料、清洗剂及新技术，实现了多种材料在同一表面实现高平整、低粗糙、高洁净及速率可控。有效解决了目前常用的酸性浆料一直难以克服的腐蚀设备、塌边、选择性差、碟形坑、划伤、金属离子沾污等六大技术难题，实现了粗糙度达亚纳米级，大于0.1μm的吸附粒子小于10个，并使新加工表面的金属离子沾污和碟形坑得到有效控制，浆料价格仅为进口产品的1/4。 市场前景 预计建设近二十条φ200mm微电子生产线，特征线条尺寸均在0.25μm以下，均需要对衬底、多重布线介质及金属布线进行化学机械抛光（CMP），实现全局平面化，化学机械抛光浆料和清洗液则是进行此工艺不可缺少的主要耗材。 规模与投资 建立生产规模1万吨/年的装置，投资12,000万元。 生产设备 厂房净化设备、浆料制备及纯化设备等，流动资金6,000万。 效益分析 毛利50%以上。 2、成果名称：碱性抛光液与清洗剂及其技术 项目简介 采用碱性介质下化学作用为主的技术路线，为解决现有酸性浆料存在的七大技术难题，研制出用低粒径分散度、硬度适中、高浓度、易清洗的SiO2水溶胶为磨料的碱性抛光液。可有效降低机械强度，大幅度提高化学机械超精密加工精度和高速率，且简化工艺、降低成本、提高抛光液的商品竞争力，达到高效益。 市场前景 该项目的实现对我国集成电路影响深远，