硅基锗薄膜的异质外延生长及其在光电子器件中的应用.pdfVIP

物理学和高新技术 硅基锗薄膜的异质外延生长及其 在光电子器件中的应用 周志文昄 贺敬凯 王瑞春 暋暋 暋暋 ( ) 深圳信息职业技术学院电子通信技术系 深圳 暋 暋518029 , , , , , , 摘 要 准直接带隙的锗 其禁带宽度小 吸收系数大 迁移率高 更重要的是 它能与硅微电子工艺兼容 在硅 暋 暋暋 ( 基光电集成中得到了广泛的研究和应用 文章综述了硅基锗薄膜的异质外延生长及其在光电子器件