微机械振动电场传感器闭环自激驱动建模及系统仿真.pdfVIP

第28卷 第 6期 传 感 技 术 学 报 Vo1．28 No．6 2015年 6月 CHINESE JOURNALOFSENSORSANDACTUATORS June2015 M odelingandNumericalSimulation ofClosed-Loop ControlforanElectricFieldM icro．Sensor LIU Heng ，XIONG Feng ，MENGRuili一，ZHANG Hongqun (1．SchoolofElectronicandInformationEngineering，Na ngUniversityofInformationScienceandTechnology，Na ng210044，China 2。Dean’Office，NanjingUniversityofInformationScienceandTechnology，Na耐ng210044，China) Abstract：Becausesensitivityofamicromechanicalresonantelectricfieldsensorisinfluencedbytheparametersof drivingcircuitanddrifterrorofresonancefrequency，adynamicmodelwasbuiltforthemicrosensor，anditana— lyzedthesystem behaviorandsensitivityondifferentclosedloopself-excitedcircuitsusingaveragingmethodinthis paper．Theoryandsimulationresultsshow thatwiththehelpofPIcontroller，thesensitivityisconstantregardlessof variationsinshieldinglayerresonance~equencyandQ—factor；thesensitivitywithasuitablePIcontrollerislarger thanthesensitivitywithoutaPIcontroller；iftheparametersofPIcontrollerdonotsatisfytheconstraintrelation— ship，outputvoltageisnotstableandthesensitivityisdistortion． Keywords：electricfieldmicro-sensor；self-oscillation；sensitivity；averagingmethod EEACC：7630 doi：10．3969／j．issn．1004-1699．2015．O6．009 微机械振动电场传感器闭环 自激 驱动建模及系统仿真冰 刘 恒 ，熊 丰 ，孟瑞丽 ，张宏群 (1．南京信息工程大学电子与信息工程学院，南京 210044；2．南京信息工程大学教务处，南京210044) 摘 要 ：本文针对微机械振动电场传感器灵敏度受驱动控制电路参数和谐振频率漂移影响问题，利用平均周期法对不同闭 环 自激驱动下微机械电场传感器的灵敏度进行了建模分析，理论和仿真分析表明：加入满足约束条件的PI控制器，灵敏度变 化与屏蔽层固有谐振频率漂移和品质因数变化无关；加入满足约束条件的PI控制器 比没有PI控制器的灵敏度大；PI控制器 的参数不满足约束关系，输出电压不稳定，输出失真。 关键词 ：电场传感器；自激振荡；灵敏度；平均周期法 中图分类号 ：TN911．71 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(2015)06-0825-06 微机械谐振式传感器是通过频率来敏感外部非 在传感器长期使用过程中，材料疲劳等引起的机械 电量信息，电场传感器在大气电场探测、电力、气象 刚度发生变化，屏蔽层微结构的固有谐