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北京沃尔康科技有限责任公司 电话：010 传真：010 无驱动硅微机械陀螺 一、原理结构 图 1 是用于敏感旋转载体横滚、偏航 （或俯仰）角速 率的硅微机械陀螺结构示意图，1 为单晶硅质量，2 为单 晶硅弹性扭转支撑梁，3 为陶瓷电极板，4 为陶瓷电极板 上蒸镀的金属电极。陶瓷板的四个电极和单晶硅质量之间 形成四个电容器。坐标系 OXYZ 固定于陀螺的质量上，   为质量沿 OY 轴的摆动角速度， 为载体的旋转角速度，   为载体的横滚（或俯仰）角速度（即被测角速度）。陀螺  固定于旋转载体上，当载体以横滚角速度 旋转的同时  又有偏航 （或俯仰）角速度 输入时