氧化锌基纳米材料的合成及其气敏性能要点.pptVIP

5.3 工作温度对元件灵敏度的影响 图5-2 元件气敏性能与工作温度的关系 纯ZnO和0.9%In2O3掺杂ZnO的最佳工作温度为350℃，0.1%In2O3掺杂的ZnO的最佳工作温度为247℃，而0.3%、0.5%、0.7%In2O3掺杂的ZnO的最佳工作温度为290℃。为便于比较，以下各项测试工作均选在290℃下进行。 5.4 元件的选择性 图5-3 元件对各种气体的灵敏度 该元件对Cl2的灵敏度是另一氧化性气体NO2的22倍，是SO2的66倍左右，对其他还原性气体乙醇、硫化氢、氨气的选择性也在38倍以上，说明该元件抗干扰能力强，有望开发为高选择的氯气敏感元件。 5.5 元件的响应-恢复特性 图5-4 元件的响应-恢复曲线 当通入30ppm的Cl2时，元件迅速响应，响应时间为5s而恢复时间为65s。总体上看出，0.3% -In2O3的掺杂使ZnO对Cl2表现出较高灵敏度、选择性和恢复特性。 5.6 结语 采用溶胶凝胶法合成了ZnO和铟掺杂的ZnO纳米材料，可得到粒径较小的纳米粒子，该方法具有以下特点：原料的混合在溶液中进行，容易混合均匀，精确控制化学反应的量；以柠檬酸和硝酸盐为原料，成本低，并且避免了杂质的引入；产物颗粒粒度较小，操作简单。 以该材料制备的气敏元件，对Cl2有较高的灵敏度和很好的选择性，但响应-恢复曲线没掺铝的好。 第六部分 铝、镧共掺杂对ZnO纳