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不同粒径核壳结构聚苯乙烯_PS__省略_的制备_表征和其化学机械抛光性能_陆锦霞.pdf
第 21 卷第 7 期 中国有色金属学报 2011 年 7 月
Vol.21 No.7 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Jul. 2011
文章编号：1004-0609(2011)07-1777-08
不同粒径核壳结构聚苯乙烯(PS)-CeO2 复合磨料的
制备、表征及其化学机械抛光性能
1 1, 2 1
陆锦霞 , 陈志刚 , 隆仁伟
(1. 常州大学 材料科学与工程学院，常州 213164 ；2. 苏州科技学院 化学与生物工程学院，苏州 215011)
摘 要：以无皂乳液聚合法制备的不同粒径聚苯乙烯(Ploystrene, PS)微球为内核，以硝酸铈和六亚甲基四胺为原
料，采用液相工艺制备具有核壳结构的 PS-CeO2 复合微球。利用 X 射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、
场发射扫描电镜(FESEM)、傅里叶转换红外光谱仪(FT-IR)和热重分析仪(TGA)等对样品的成分、物相结构、形貌、
粒径以及团聚情况进行表征。将所制备的 PS-CeO2 复合微球作为磨料用于二氧化硅介质层的化学机械抛光，用原
子力显微镜(AFM)观察抛光表面的微观形貌，测量表面粗糙度。结果表明：所制备的 3 种 PS 微球呈单分散规则
球形，粒径分别约为 120、170 和 240 nm ；3 种 PS-CeO2 复合微球具有核壳结构，粒径分别约为 140、190 和 260 nm ，
CeO2 壳厚约为 10 nm。随着PS-CeO2 复合磨料粒径的减小，抛光表面粗糙度随之降低，经样品 F1 抛光后表面在
10 µm×10 µm 面积范围内粗糙度的平均值(Ra)及其均方根(Rms)分别为 0.372 和 0.470 nm 。
关键词：PS-CeO2 复合磨料；核壳结构；化学机械抛光
中图分类号：TN305.2 文献标志码：A
Preparation, characterization and performance of
core-shell PS-CeO composite abrasives with different particle sizes
2
1 2 1
LU Jin-xia , CHEN Zhi-gang , LONG Ren-wei
(1. School of Materials Science and Engineering, Changzhou University, Changzhou 213164, China;
2. School of Chemistry and Biological Engineering,
Suzhou University of Science and Technology, Suzhou 215011, China)
Abstract: Polystyrene (PS) microspheres were prepared by soap-free
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