几种膜系的理论及应用研究(品精要.docVIP

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武 汉 职 业 技 术 学 院 毕业论文 几种膜系的理论及应用研究 系别:光电子技术系 班级:光电 11303 作者:韩炜 指导教师:张雅娟 2014年 02月22 日 摘 要 镀膜是将光学薄膜沉积在光学零件表面的制造过程。光学薄膜应用于各种反射和透射光学元件,薄膜技术是光学技术的一个重要组成部分。镀膜技术涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域。本文阐述了几种常见的特点,进行工艺比较,结合当前的实际应用对镀膜的应用做了一定的归纳和总结,对未来镀膜工艺进行展望。I 1 绪言.............................................................1 1.1镀膜意义.....................................................1 1.2光学薄膜.....................................................1 2 镀膜技术.........................................................2 2.1常用的镀膜工艺................................................2 2.2三种镀膜工艺比较..............................................3 2.3三种镀膜工艺的应用............................................3 3 光学薄膜分类.....................................................5 3.1减反射膜......................................................5 3.2反射膜........................................................6 3.3干涉滤光片....................................................7 3.4分光膜........................................................7 4 ITO薄膜.........................................................8 4.1ITO薄膜基本性能...............................................8 4.2 ITO薄膜在国内的发展.........................................11 5 聚酰亚胺薄膜(PI膜)...........................................12 5.1聚酰亚胺薄膜(PI膜)特性.....................................12 5.2聚酰亚胺优点.................................................13 5.3 PI膜未来发展................................................13 6 光学镀膜的应用前景..............................................14 6.1 光学镀膜在光学上的应用......................................14 6.2 光学镀膜在电子电路上的应用..................................14 6.3 光学镀膜在机械工业的应用....................................14 6.4光学镀膜在生活中的应用.......................................15 6.5 前景展望....................................................15 参考文献..........................................................16 1 绪言 1.1镀膜意义 镀膜在利用某些薄膜材料的红外线反射性能的同时,也利用了薄膜在可见光谱范围的干涉效应,通过对薄膜厚度的调整,既达到热反射功能,又可形成所需的反射颜色效果。当光线进入不同传递物质时(如由空气进入玻璃),大约有

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