mbe操作手册.pdf

操作手册 进入实验室之后，请做好记录。 （一） Baking 1. 将所有的阀都打开。 2. 拆plasma matching box a. 拔掉电源线，包括总电源和风扇电源； b. 拆veeco 水管：蓝管只需将卡套松一下拔下即可，红管需要用15#和13# 扳手松开后拔下，用盆在出水口处接好，在入水口处用气枪将管中的水 吹干净，透明管不必拆。 c. 拆SVT matching box: i. 先将外壳拆下 ii. 拆水冷，将铜块的四个小螺丝松开，取下半个方块，将蓝色水管卡 套松开。将SVT 与Cell 连接螺丝卸下，将SVT matching box 拆下， 拆下透明水管，用拐角连接好，出水口同样用盆接好，用气枪将 管中的水吹干净。 d. 拆veeco matching box: i. 将veeco plasma matching box 两侧和上方的几个螺丝取下，小心扶住 并取下两侧的挡板。 ii. 将两挡板中心的螺丝慢慢松开并取下。 iii. 将Matching box 下方两个螺丝拧下，小心扶住matching box，并将其 取下，不要碰到任何东西。 iv. 将水管架上两个螺丝松掉并卸下，用铝箔包好，将水管架卸下放在 盆中。 3. 取下IS4K。 a. 先将data cable 和video cable 拆下。 b. 一人扶住IS4K,一人将4 个卡套松开，将IS4K 后的Power Cable 拆下，并 将IS4K 取出保存好。 4. 将cell 的水冷拆掉，用拐角将进出口连接好，下面用盆接好后，用气枪将管 中水吹干净。 5. 将shutter 气动阀进气管拆掉，将控制器上螺丝卸掉并拆下控制器，用别针 别住弹簧片。 6. 将prep 水冷拆下，用拐角将进出口连成回路，下方用盆接好，用气枪将管 中水吹干。 7. 将beam flux power supply ？？？摘下，将main stage 上方的旋转台拆下， 并将四脚铁架安装上。RGA 和ＲＨＥＥＤ 8. 用酒精将整个MBE 设备擦干净，确定所有shutter 都关闭，除四个主要泵的 气动阀氮气线之外，其余所有的氮气线都要拆下，并塞到 MBE 下面。所有 的观察窗都要关闭并用铝箔包好，MFC 电源线要拔下。 9. 将MBE 的保护罩套上，注意未拆下的气动阀线要先拔下来，套上保护罩后， 再安装上去。Load lock vacuum gauge 的电源线和数据线也是如此。 10. 先关CRYO GV,将冷泵上方的阀放下一半，然后再打开CRYO GV 。 11. 将所有cell, main stage 和 prep stage 电源打开，growth chamber 和ｐｒ ｅｐ ｃｈａｍｂｅｒ升温到300℃，所有cell 升温到300℃。Mg, Ga1—Al2 5 ℃ /min, Si 和Fe10℃/min,prep 15℃/min,growth20℃/min. 12.将baking 线装上后，打开电源，将baking zone 的控制面板上电源打开， 间隔5℃升温到100℃后，然后缓缓升温到200℃，用风扇吹CRYO GV 和LLlock 真空计，做好监控。 (二)装样品和取样品 1. 打开传送杆上方的闸阀(手动)，将样品架升高到LoadLock 中，调节好高度（底 部高于小爪型的卡槽）后选装螺杆将其固定； 2. 将样品架降至最底端； 3. 关闭 1 中打开的闸阀。在计算机操作界面上关闭LL （GV1 ）阀。在电柜上关 闭分子泵的电源。 4. 打开室内氮气瓶后的气路开关，将冷泵下方的VENT 气压升至2psi； 5. 打开LoadLock 的Swageloke 开关，向LL 中通入氮气； 6. 在打开LL 之前清理好通风操作台，准备好要装入的衬底；换上干净的手套， 带上口罩； 7. 小心打开LL 上面的盖子，并用软垫支好； 8. 将样品架缓