纳机电压力传感器詳解.docVIP

课程报告 题目：纳机电加速度传感器 NEMS acceleration transducer 姓名： 学院： 专业：测试计量技术及仪器 学号： 课程老师： 提交时间： 摘要 纳机电系统(NEMS)是基于微机电系统发展起来的新兴技术领域,同时也是纳米技术的重要组成部分，它是指在特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统。 本论文首先介绍了国内外纳机电传感器的发展情况，然后根据纳米超晶格薄膜在应力作用下具有力电耦合特性，对一种基于AlAs/InGaAs双势垒共振隧穿薄膜微结构介观压阻效应的新型纳机电加速度传感器进行研究，包括理论分析，结构设计与仿真，工艺设计流程，最后对其外围测试电路进行了设计。 关键词： 纳机电系统，加速度传感器，共振隧穿微结构，介观压阻效应 Abstract Nanoelectromechanical system(NEMS) is a prospective field of technology developed on the basis of micro electromechanical system. It’s also a kind of u