扫描探针显微镜能自动化策略研究及应用.pdf

摘 要 纳米科技已经成为二十一世纪最核心的技术之一，而纳米科技的竞争，很大程 度上体现在纳米表征和纳米操纵仪器的竞争．提高作为纳米科技的“眼”和“手”的扫 描探针显微镜(SPM)的测量和定位精度，是纳米仪器界始终追求的目标．本文 就扫描探针显徽镜自动化关键技术—压电执行器的滞后补偿控制和非线性、非正 交误差校正以及SPM标定等问题，进行了深入分析和应用研究，主要成果如下： (1)．针对扫描探针显微镜控制系统中包括Z方向执行器、探针和被测样品在内 的广义被控对象存在的大滞后问题，设计了鲁棒自整定Smith预估控制器，使得 闭环系统不仅具有在过程增益、滞后时间和时间常数等动态性能参数变化时的鲁 棒稳定性，而且具有良好的动态特性，如小超调、快响应速度和强抗干扰能力等 等。 (2)．针对传统DNA计算中存在的设计变量编码长度与计算精度之间的矛盾， 提出了自适应范围DNA(ARDNA)软计算方法，将设计变量取值范围自适应机 制引入DNA软计算，给出了基于标准正态分布表计算分位数Pr的简化公式，通 过有限长的DNA编码实现了预定的计算精度。函数优化应用实例表明了ARDNA 对设计变量的取值范围无需先验知识，且具有较强的全局搜索能力． (3)．针对扫描探针显微镜中x、Y压电执行器的回滞非线性问题，提出了回滞 非线性在线辨识和实时校正策略．该策略中，首先基于对x、Y压电执行器的非线 性特性分析，建立了其回滞非线性参数化模型结构，采用ARDNA软计算方法， 同时优化模型结构和模型参数，获取压电执行器最优回滞非线性模型。接着，将 所获得的回滞非线性模型作为参考模型，通过设计增量式反馈控制器，构建压电 执行器回滞伪逆模型。然后，为消除压电执行器回滞非线性建模误差，采用递推 最小二乘法(简称RLS)，在线辨识压电执行器，实时修正其参考模型，以确保所 构建伪逆模型逼近其逆模型。最后，压电执行器与其伪逆模型串连，实现了回滞 非线性校正。数字仿真结果验证了算法的有效性。 (4)，智能校正和标定的实现策略研究。为获取x、Y压电执行器的输入一输出 数据，以建立其模型，给出了基于一维或二维标准光栅SPM图像的特征数据测量 算法。根据SPM扫描机理并考虑压电执行器回滞非线性影响，提出了X、Y压电 执行器双向多项式模型，给出了相应的非线性校正算法。基于经非线性校正的二 维标准光栅的SPM图像，给出了X、Y压电执行器夹角测量算法和非正交误差校 正算法，另外，基于本文引入的压电执行器标定因子的概念，提出了相应的标定 算法。 (5)．基于上海爱建纳米科技发展有限公司研制的AJ—I等系列产品的系统框 良好的控制效果，基本满足了STM对恒流的要求。将X、Y压电执行器非线性、 非正交误差校正和SPM标定算法编制到AJ—III型原子力显微镜(AFM)42的 DSP控制器中，并开发了一套SPM中压电执行器模型参数-9 X、Y方向压电执行 器夹角和标定因子等参数的获取软件，以配合实现非线性、非正交误差校正和SPM 标定。实验结果表明：1)仅需用户点击几次鼠标，即可得到压电执行器模型参数 以及x、Y方向压电执行器夹角和标定因子等参数，实现非线性和非正交误差校正， 基本消除了图像特征扭曲；2)仅仅通过设定和修改X，Y方向压电执行器标定因 子，即可实现扫描探针显微镜的标定，在降低了标定复杂度的同时，提高了标定 精度，从而增强了SPM自动化和智能化程度。 关键词：扫描隧道显微镜(STM)，原子力显微镜(AFM)，扫描探针显微镜(SPM)， 鲁棒控制，自适应范围DNA软计算(ARDNA)，回滞非线性，SPM标定 注I、注2：STH，^FM均为SPM系列中的产品 II Abstract As of21 st scienceand havebeenfocused high-techcentury，nanometer on the technology by are