丝网印刷纳米ZnO薄膜阴极场致发射的研究.pdfVIP

· 丝网印刷纳米ZnO薄膜阴极场致发射的研究／张秀霞等 17· 丝网印刷纳米ZnO薄膜阴极场致发射的研究。 张秀霞1，魏舒怡2，朱长纯3 (1北方民族大学电信学院，银川750021；2中国科学院研究生院，北京100049) 3西安交通大学电子与信息工程学院，西安710049) 摘要 鉴于化学气相沉积生长方法成本高且很难制备出大面积均匀的纳米ZnO薄膜，采用成本低的丝网印 刷方法制备了大面积纳米Zn0阴极薄膜。测试研究了分散、热烧结、退火处理对znO薄膜的场致发射特性的影响， 提出了低成本丝网印刷制备大面积ZnO薄膜阴极热烧结和退火处理的工艺，根据样品的形貌、发射特性和均匀稳定 发射阴极。 关键词 丝网印刷纳米ZnO薄膜场致发射冷光源 of F订mfor ZnO FieldEmissionCathode StudyScreen—printed ZHANGXiuxial，WrEI Shuyi2，ZHUChangchuna (1 SchoolofElectronicsandInformation forNationalities，Yinchuan750021；2GraduateSchool Engineering，NorthernUniversity oftheChinese of ofElectronicsandInformation 100049；3School AcademySciences，Beijing Engineering， Xi’an 710049) JiaotongUniversity，Xi’an 7 AbstractThe areaofnano-ZnOfilmcantbe CVD for cosLLowercostscreen- large received by growthhigh areanano-Z“)filmcathodeiSfabricated．Theinfluencefactorsoffieldemissioncharacteristicofllano-- printedlarge ZnOfilmistestedand tOthe ofcathode and and ofthe studied．Accordingmorphologysamplesstabilityuniformity anodeluminescent，thetechnicsOfthermal and treatment0flowerCOSt areaare sinteringannealing screen-printedlarge