智能IC引线键机图像识别系统的研究.pdfVIP

摘要 集成电路(IC)是现代信息产业和信息社会的基础，Ic产业已成为国民经济和国 防建设的基础性、战略性产业。目前，中国的IC设计和制造水平同世界先进国家相 比存在着很大的差距。因此，Ic制造设备的开发对中国集成电路产业的发展具有十 分重要的意义。 引线键合技术是现代微电子封装中常用的一种技术。随着芯片集成度的增加和 尺寸的减小、芯片引脚间距越来越细密化，微电子封装的精度要求越来越高。引线 键合工艺过程的每个步骤都涉及到定位问题，以往这种带有高重复性和智能性的工 作只能由人眼来完成，而有些时候对微小尺寸的精确快速测量、形状匹配、颜色辨 识等，用人眼根本无法连续稳定地进行。 本文利用机器视觉技术与数字图像处理技术来实现智能IC引线键合机的图像 识别系统。本文丰要研究内容有： 首先，对ic引线框架的定位设计做了比较全面的研究。针对lc引线框架的芹 下角和右上角有两个非常明显的圆标志，又由示教系统和位置误差信息，可以推算 出圆标志的潜在区域。在每个圆标志的潜在区域里，对采集摄入的数字图像，进行 图像预处理、边缘提取得到离散的边缘特征点，然后对其进行改进的霍夫变换得到 圆心坐标，从而分别确定两个圆标志的精确位置。 其次，对IC裸芯特征点的定位设计做了