MEMS执行器__微电机.ppt

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宝山壁画 宝山壁画是引人注目的昂贵文物。此壁画发现于阿鲁科尔沁旗东沙布乡境内。1994年列为“全国十大考古新发现”之一。宝山壁画中最引人注目的是《杨贵妃教鹦鹉图》。该画高0.7米、宽2.3米,用于笔重彩绘制,最突出的表现了 晚唐风格。唐代擅长绘贵妇仕女的大师周昉绘制了《杨贵妃教鹦鹉图》,不仅享誉中原,而且还影响全国各地。发现于阿旗宝山古墓里的这幅画,就是契丹人聘请中原画家按照周氏风格绘制的, 技法深得周氏画风的真传。在唐人真迹稀如星风的今天,能够从中完整了解唐代人物画的杰出成就,堪称美术史研究的辛事。这幅壁画现今保存在阿鲁科尔沁旗博物馆,历经千年,恍如新绘,是该馆的镇馆之宝。 欢迎大家观看! 微电机的应用 信息领域 微电动机与传感器、数字电路集成在一个半导体芯片上用作开关组合部件。光纤产品、光学仪器,如光开关、各种视盘机及光刻机、激光设备及激光刀等都需要精密微型电机驱动和超微电动机与光器件融合为一体的光机电系统。 微电机的应用 军事领域 各种机器昆虫、微机器人等将会在今后的反恐、救援、战争前线侦察、考古、司法取证、科学探索等方面大显身手,而每一个微型探测器内部都装有大量的微电机以完成各种需要的动作。 医疗领域 医疗领域是微机械技术应用的最具代表性的领域。微创伤内窥诊疗、精密显微外科、体内局部微量给药都需要高度灵巧、高度柔顺性的微电机。 微电机的应用 人工心脏 微电机的应用 微电机的应用 航空航天领域 微电机可用在带摄像装置进入卫星、火箭或宇航飞机内检查故障的机器人上。在超微电机基础上还可以发展惯性导航器件,如微陀螺。 上海交通大学研制的抗磁悬浮微陀螺 国内外微电机研究对比 微电机研究和发展方向 目前微电机研究遇到的困难和发展趋势 1.微机械性能评测技术 微电机建模、仿真、优化设计的正确性、有效性,需要微机械性能评测技术加以评价。 2.微摩擦与微支撑 电机发出的力很小,往往会被其自身的摩擦力消耗掉。极小的运动间隙需要严格的防尘技术。发热和耐久性问题是值得关注的课题。 微电机研究和发展方向 3.降低功耗与低电压驱动 微机器人的无缆化、自立化需要用电池或无线能量传输解决供电问题。所以必须研究更简单高效的驱动电路和控制电路,开发低功耗、低电压驱动的电机。 4.薄型化、多功能化、多自由度 微电机往往应用于空间十分狭小的场合,集传感、驱动、制动等为一体的多功能微电机,或多自由度的微电机会大受欢迎。特别是在非结构环境中,微电机应能控制其柔顺性。 微电机研究和发展方向 谢谢! 微机电系统 执行器 微 电 机 机电工程与自动化学院 MEMS执行器 微电机的概述 微电机的分类介绍 微电机的应用 微电机的研究和发展方向 论文结构 微电机概述 执行器根据信号处理,控制电路发出的指令自动完成人们所需要的各种功能。可以通过静电力、电磁力、压电力、磁致伸缩、超声波和形状记忆合金膜片等驱动。. 微执行器的核心部件是微电动机, 在微执行器中占主导地位。根据其执行原理不同分为不同类型,其各自的性能和应用场合也各异。 微电机概述 各种执行方式比较 静电执行 材料简单 需折中驱动力与位移大小 执行相应速度快 易受吸合效应的限制 热执行 能得到较大位移量 功耗相对较大 执行相应速度适中 对环境温度变化敏感 压电执行 响应快速 材料制备过程复杂 可得到较大的位移量 低频工作时性能下降 磁执行 可产生较大角度位移量 制造工艺较为复杂 可使用很强磁力作为偏置 片上螺线管制造较为复杂 微电机概述 微电机分类 微电机 静电型微电机 电磁型微电机 压电微电机 形状记忆合金微电机 磁致伸缩型微电机 当两个导体施加电压的时候,会产生静电力。 静电力的大小与尺寸的平方成反比。静电力很少用于驱动宏观机械,但是微型器件通常有较大的表面积体积比以及非常小的质量,使得静电力成为一种很有吸引力的微执行驱动源。 静电型微电机可分为旋转式和直线式两种。 微电机分类 静电型微电机 微电机分类 旋转静电微电机 对一组定子电极施加偏置电压,则该组中任一给定电极与其紧邻的转子轮齿之间会产生面内电场,并在它们之间产生静电引力,从而使轮齿与定子对准,通过分组连续激励定子电极,转子可以实现持续的运动。 静电型微电机 旋转静电微电机的结构 微电机分类 静电型微电机 微电机分类 静电型

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