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1.多晶硅分类 按纯度分为冶金级（工业硅）、太阳能级、电子级。 冶金级硅（MG）：是硅的氧化物在电弧炉中被碳还原而成,一般含Si 为90 - 95% 以上。 太阳能级硅 (SOG)：纯度介于冶金级硅与电子级硅之间，至今未有明确界定。一般认为含Si在 99.99 %– 99.9999%（4～6个9）。 电子级硅（EG）：一般要求含Si 99.9999 %以上，超高纯达到99.9999999%～99.999999999%（9～11个9）。 ? 2. 多晶硅的生产方法 改良西门子法、硅烷法和流化床法。 3.改良西门子法——闭环式SiHCl3氢还原法 的生产流程与工艺 改良西门子法是在西门子法工艺的基础上，增加还原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺，实现了闭路循环；主要由SiHCl3合成、SiHCl3精馏提纯、SiHCl3的氢还原、尾气的回收和SiCl4的氢化分离制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等工艺过程组成。 3.1改良西门子法的生产工艺流程 ? 3.2改良西门子法的生产工艺 3.2.1氢气制备与净化工序 电解制得的氢气经过冷却、分离液体后，进入除氧器，在催化剂的作用下，氢气中的微量氧气与氢气反应生成水而被除去。除氧后的氢气通过一组吸附干燥器而被干燥。净化干燥后的氢气送入氢气贮罐，然后送往氯化氢合成、三氯氢硅氢还原、四氯化硅氢化工序。 3.2.2氯化氢的制备 从氢气