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多晶硅酸洗高浓度废气 净化方案 北京汉昌绿源环保科技有限公司 2009-07 多晶硅料酸洗高浓度废气净化方案 一、废气污染源工况 硅料酸洗车间需用硝酸和氢氟酸对多晶硅进行清洗，共分为4部分，分别为手动生产线、自动生产线、半自动生产线和半成品处理线，前三条生产线用硝酸和氢氟酸的混合溶液对多晶硅进行酸洗，去除表面杂质。化学反应式为： 2HNO3+Si=SiO2+NO2↑+NO↑+H2O SiO2+4HF=SiF4↑+2H2O 由以上反应式得出，多晶硅酸洗废气主要为NOX和SiF4，由于反应非常剧烈，气体中还含有大量硝酸雾和氢氟酸雾。废气挥发呈爆发性，尤其是NOX，浓度非常高，平均浓度为1000~2000mg/m3，瞬时浓度可达5000~6000mg/m3，气体呈棕红色。 前三条生产线每天试剂总的用量： 硝酸（HNO3）：浓度65%--68% 平均每天用量7525kg； 氢氟酸（HF）：浓度48%--50% 平均每天用量941kg； 由于用酸量非常大，产生的废气总量也非常大，以上气体如不经净化或净化不达标将严重污染环境。 半成品生产线主要产生硫酸雾、HF和碱性废气，浓度较低。 二、净化要求 净化后废气排放应满足《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）二级标准要求，即： 平均浓度：氟化物≤9.0mg/m3，NOX≤240mg/m3； 排放总量（20米）：氟