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第六章 晶粒度的测定 当晶粒度在10-5 cm 或更小时,由于每个晶粒中的晶胞数目减少,使得 衍射线条宽化。利用衍射线条宽化,可对晶粒度进行测量。 § 6.1谢乐公式 谢乐(Scherrer)在1918年指出,如果?为所用单色X射线波长,? 为入 射线与某一晶面所成入射角,D为垂直于这组晶面方向粒度尺寸,则衍射线 的半高宽?为: 从(6.1)式可见,若峰是由于晶粒尺寸展宽的,则: 峰展宽? (峰半高宽)与?角有一定关系,若没有仪器等原因的展宽,则 ?= k Sec ? (6.2) 即,在衍射图谱中的峰半高宽,应与Sec ? 成正比关系;并可由斜率测出D值。 若不满足(6.2)式 ,表明峰半高宽中有其他因素的贡献。 § 6.2 其它因素引起的峰展宽 X射线衍射峰的展宽主要有下面三方面引起 (1) 仪器展宽 包括由于仪器聚焦不完全、K?双线( K?1、 K?2)未分离等等引起。 没有仪器展宽的衍射峰应为图中峰a ,有仪器展宽变成b. (2) 晶粒尺寸 由于小晶粒尺寸引起的峰展宽,这样由于仪器展宽和晶粒尺寸小到一定尺寸(100nm-500nm)引起的展宽总和就是峰变成途中的c。 (3) 晶粒微应变 由于小晶粒内微观应力引起,使峰变成图中d.。 K? 双线的分离 由于K?1 和K?2两条线的波长相差非常小,往往在光源中没法滤掉其中一 条,二者都参加衍射,引起衍射线重叠在一起。 我们说衍射峰中包含有K?1 和K?2两个分量。 为了从重叠峰中消除K?2分量,得到单一的K?1 X射线的衍射峰,就需要 对K? 双线进行分离。 这里所谓K? 双线进行分离,就是指衍射峰中包含的K?1 和K?2两个分量的 分离。 常用的分离方法有图解法和近似函数法,现在介绍图解法。可以用计算 机分离。 此法建立在如下假设之下: (1) K?1 和K?2两个衍射峰分量线形相似,且峰的底宽相等。 (2) K?1 和K?2两个衍射峰分量线形都是对称的,两个衍射峰分量线之间 距离为? (角距离) 由布拉格衍射方程可以得到: 第三步:由图可以看出,在第一区间内,只有K?1分量的值,即: I 1(x) = I (x) 在第二区间内,既有K?1分量又有 K?2分量 假定峰形具有高斯分布:则 考虑到?是一个很小的量,则 做 BCos? 对 Sin? 曲线, 应为一直线。 显微镜的分辨率 显微镜物镜的数值孔径: 瑞利判据是指:当一个爱里斑的中心最大刚好落在另一个爱里斑的第最小时,相应的两个物点刚好能分辨. 爱里斑的半径定义为:它的中心到低强度最小值间距离。 扣除K?2 后衍射图 选择拟合峰剖面 出现峰拟合对话框 K?2已扣除 精修 看峰拟合报告 看峰半高宽曲线 * (6.1)式称为谢乐公式,K 为一常数。此公式可由简单的光学衍射原理推导出来。 常数K一般取0.89 需要注意的是: (1)这里测定的是晶粒尺寸。 (2)这里假定尺寸是均匀的.若尺寸有一定分布,应使用广义谢乐公式(见“丛秋滋:多晶二维X射线衍射,科学出版社,1997”) 其中 ⊿?= ? ?1 - ? ?2 = ⊿ (2?)是因为两峰分量是在以2? 为横坐标的图谱中相距? 。 (3) K?1 和K?2两个分量对应点的强度为2:1。 分离方法: 第一步:根据实测得峰的位置(为分离的K?峰峰顶所对应角度-- ?),由(6.3)式计算出两个分量的分离度? ;(在2?横坐标的距离); 第二步:选重叠峰的低角端a为相对坐标原点, 从a ?b 相距?,此为第一区间;从b ?c 为第二区间; 这里考虑到:两个分量的分离度为?;线形相似,且峰的底宽相等;K?1 和K?2两个分量对应点的强度为2:1这些假定。 第四步:计算出在各坐标点的I 1(x) 和I 2(x) ,就可以作出K?1分量的线形,找到剥离了K?1分量峰的半高宽。 2. 仪器增宽 经过K? 双线分离的峰半高宽,包含有仪器增宽部分。由实测的宽度B1求出真实宽度,必须得到仪器增宽B0, 方法有好几种。 通常采用简单方法:采用与待测试样相同材料,但具有10-2~10-3 mm晶粒度(可采用退火方法处理)的试样,求出其半高宽即为B0 。 假定峰
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