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( A )
32 10 SCIENCE IN CHINA ( Series A ) 2002 10
ZnAl O /αα-Al O
2 4 αα 2 3
GaN *
(, 210093)
(PLD)α-Al O ZnO , ZnO
2 3
α-Al O ZnAl O α-Al O . X (XRD)
2 3 2 4 2 3
ZnAl2O4 (111), (111)
. (SEM) ZnAl2O4
, . , XRD
ZnAl O . ZnAl O α-Al O MOCVD
2 4 2 4 2 3
GaN . XRD ZnAl2O4 GaN c ,
GaN 0.4°. ZnAl O GaN
2 4
, GaN .
GaN ZnAl O MOCVD X
2 4
(LEDs)
(LDs) , [1].
GaN
(MOCVD). GaN , N2 , GaN [2],
GaN α-Al O . α-Al O GaN
2 3 2 3
GaN . MOCVD GaN
, , (500~600 ) AlN GaN
, GaN[1]. Akasaki Nakamura AlN GaN
α-Al2O3 GaN [3,4].
GaN , GaN
, : ( ) , [5]
[6]. ,
[7]; ( ) α-Al O GaN
2 3
[8]. GaN , .
2001-12-25 , 2002-03-08
* ( : ( :( :
699
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