层级仿生微阵列的制备及黏附性能.pdfVIP

2012 年 第 57 卷 第 8 期：673 ~ 681 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 层级仿生微阵列的制备及黏附性能 ① ① ② ①* ① 张昊 , 吴连伟 , 贾世星 , 郭东杰 , 戴振东 ① 南京航空航天大学仿生结构与材料防护研究所, 南京 210016; ② 南京电子工业部第五十五研究所, 南京 210016 * 联系人, E-mail: djguo@ 2011-12-21 收稿, 2012-02-16 接受 国家自然科学基金、博士点专项基金(200802871043)和南京航空航天大学科研创新基金(NS2010216, NS2012014)资助 摘要 采用电火花穿孔技术, 制备了直径0.5 mm、倾斜度为75° 的大孔铜基阴型模板, 利用氢硅烷 关键词 型硅橡胶浇注该模板, 得到大直径倾斜阵列, 作为一级结构刚毛阵列. 接着, 采用等离子刻蚀技术 刚毛 制备了3 种不同结构( Φ=15, 10, 5 μm) 的单晶硅基阴型模板, 真空下氢硅烷型硅橡胶浇注, 得到3 硅橡胶 种精细微阵列, 作为二级结构刚毛阵列. 最后, 利用烯硅烷型硅橡胶进行硅氢化反应将二级微阵 黏附 层级结构 列键合在一级阵列的支杆末端, 得到3 种层级刚毛阵列. 利用高灵敏力传感器测试了3 种层级刚毛 阵列的法向、切向黏附性能. 结果表明: 3 种层级刚毛阵列的切向滑动黏附力均随滑移距离先增后 减, 呈现了各向异性的黏附特性; 不同二级结构刚毛阵列的切向、法向黏附强度与其二级阵列的 直径、密度密切相关. 壁虎(gecko)以其独特的运动能力、能够满足作为 明显增加, 其优点是: 由于多级刚毛阵列聚合物的组 军事侦查和狭窄环境检测所需要的基本条件(如 20 s 成成分相同, 刚毛阵列之间的相互兼容性较高, 存在 内可爬 10 层楼; 可负重能力远大于现有通信(10 g, 较强的黏附力. Jeong 等人[13~16]采用纳模注塑法制备 有效距离5 km) 、视觉传感器(10 g, 30 万像素)和电源 一种大长径比、倾斜结构的微阵列, 该阵列对粗糙表 (40~50 g)设备的重量总和)而成为研制三维无故障运 面具有较强的黏附能力, 其优点是: 可任意改变等离 动机器人的楷模[1]. 研究表明: 壁虎脚掌特殊的功能 子刻蚀时单晶硅的放置倾斜角, 从而得到不同倾斜 源于其表面数以万计的刚毛; 每根刚毛末端具有分 度的阴型模板, 继而得到倾斜的刚毛阵列. Campo 等 支, 形成两级结构[2~5]. 这种分支结构既保证了壁虎 人[17,18]利用多次光刻(lithography)技术制备了不同孔 脚掌与接触面的充分接触, 从而产生强大的范德华 径的光刻胶SU-8 基阴模, 然后浇注了硅橡胶(聚二甲 [6] 黏附力; 也可调控在不同接触表面上的吸附和脱附 . 基硅氧烷, PDMS) 两级结构刚毛阵列. 所制备的 同时, 这种微阵列结构也使壁虎脚掌具有了自洁净 PDMS 刚毛阵列的初级结构为直径25 μm 、高200 μm 的功能[7]. 因此, 仿壁虎刚毛阵列的研制成为国内外 的柱状刚毛, 次级刚毛为直径5 μm 、高分别为5, 10, 仿生学者研究的一个重心. 15 μm 的柱状刚毛. 切向