微机电系统（MMS）中超微质量检测研究.pdf

摘要 摘要 微量和超微量测量作为现代科学技术一个重要的前沿问题，是人类探索认识微 观世界的重要手段。目前，进行微质量测量的方法主要还是借助于电子天平，其 中采用石英晶体的电子天平，虽有较好的稳定性，耐蚀耐放射，但其测量精度受 测量环境影响较大；采用电磁力平衡式的精密电子天平，又存在着温度变化引起 较大误差的阕题。而采用扫描隧道显微镜、原子力显微镜和激光测量技术等进行 超微尺寸、超微位移的测量，测量精度可以达到纳米级。基于此，本文提出一种 检测超微质量的新方法，该方法基于微机电系统(MEMS)技术，将待测的超微质 量通过超微质量转换装置转换成微角位移，通过测量微角位移达到测量超微质量 的目的。 本文在分析现有微质量测量方法的基础上，提出了超微质量测量方法的设计思 路，大胆采用高精度高回转度的微气动静压轴承作为超微质量转换装置的主轴， 并结合激光三角测量方法将微小偏转角转换成微弱电信号，然后采用测量电路对 微弱电信号进行采集放大、模数转换、运算及数模转换等处理，处理后的信号经 过功率放大后输出到采用压电微执行器的反馈执行机构，从而构成～个闭环测量 系统，有效地降低测量系统对各个测量环节地精度要求，提高系统整体的精度和 稳定性。根据该设计思路，本文提出了系统总体方案，并对方案