第三章 电容式传感器分析.pptVIP

例：湿度测量 电容式键盘 电容传声器 根据电路知识可知： 当C1＞C2时，各点的电压波形如图所示 UA、UB—A点和B点的矩形脉冲的直流分量； T1、T2 —C1和C2充电至Ur的所需时间； U1—触发器输出的高电位。 C1、C2的充电时间T1、T2为： Q、 两端间的平均电压（经一个低通滤波器）为： 说明差动脉冲调制电路输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。 对于差动式变极距型电容传感器： 对于差动式变面积型电容传感器来说，设电容器初始有效面积为S0，变化量为ΔS，则滤波器输出为： 差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容传感器，并具有理论上的线性特性。 该电路采用直流电源，电压稳定度高，不存在稳频、波形纯度的要求，也不需要相敏检波与解调等； 对元件无线性要求； 经低通滤波器可输出较大的直流电压，对输出矩形波的纯度要求也不高。 二、运算放大器式电路 Cx为传感器，C0为固定电容。当运算放大器输入阻抗很高、增益很大时，可认为运算放大器输入电流为零，有： Ui Cx C0 -A Ii Ix USC 如果传感器是一只平行板电容，则： 得： 可见运算放大器的输出电压与动极板的板间距离d成正比。运算放大器电路解决了单个变极距型电容传感器的非线性问题。 上式是在运算放大器的放大倍数和输入阻抗无限大的条件下得出的，实际上该测量电路仍然存在一定的非线性。 第三节 电容式传感器应用举例 电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多技术问题，使电容式传感器不但广泛应用于精确测量位移、厚度、角度、振动等物理量，还应用于测量力、压力、差压、流量、成分、液位等参数，在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 例 电容式称重传感器 称重时，弹性元件受力变形，使动极板发生位移，导致传感器电容量变化。 定极板 绝缘材料 动极板 极板支架 弹性体 电容式称重传感器 F 在弹性钢体上高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板电容，当称重时，钢体上端面受力，圆孔变形，每个孔中的电容极板间隙变小，其电容相应增大。由于在电路上各电容是并联的， 因而输出反映的结果 是平均作用力的变化， 测量误差大大减小 （误差平均效应） 例 电容测厚传感器在板材轧制装置中的应用 电容式料位传感器 D d 检测电路 测定电极 储罐 ε0 ε1 h 例 电容式料位和液位传感器 储罐的罐壁和测定电极之间形成了一个电容器。 上图中电容随料位高度h变化的关系为： 式中 k——比例常数； D——储罐的内径； d——测定电极的直径； h——被测物料的高度； ε0——空气的介电常数； ε1——被测物料的介电常数； 可以看出，两种介质的介电常数差别越大、D与d相差越小，传感器的灵敏度越高。 湿敏电容一般用高分子薄膜电容制成的，常用的高分子材料有聚苯乙烯、聚酰亚胺、酪酸醋酸纤维等。 HM1500湿度传感器 当环境湿度发生改变时，湿敏电容的介电常数发生变化，使其电容量也发生变化，其电容变化量与相对湿度成正比。 * * * * 第三章 电容式传感器 电容式传感器是将被测非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器。 结构简单、高分辨率、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作，这是它的独特优点。 随着集成电路技术和计算机技术的发展，使得它存在的分布电容、非线性等缺点得到有效克服，成为一种很有发展前途的传感器。 第一节 电容式传感器的工作原理和结构 一、基本工作原理 两平行极板组成的电容器,它的电容量为: + + + d A ? A：两平行板所覆盖的面积； d：两平行板之间的距离。 ε ——极板间介质的介电系数； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质， εr ≈1。 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。 在实际使用时，电容式传感器常以改变平行板间距d来进行测量，因为这样获得的测量灵敏度高于改变其他参数的电容传感器的灵敏度。 改变平行板间距d的传感器可以测量微米数量级的位移，而改变面积A的传感器只适用于测量厘米数量级的位移。 二、变极距型电容式传感器 图: 电容量与极板间距离的关系 传感器的输出特性不是线性关系，而是如图所示的双曲线关系。 动极板上移使d0 减少Δd： 设动极板未移动时极板间距为d0 初始电容量为： 电容相对变化量为： 略去高次(非线性)项，可得近似的线性关系 灵敏度S：电容变化与引起该变化的机械位移变化之比 如果考虑线性项及二次项，则 相对非线性误差ef为 变极距型电容传感器只有在Δdd0 时(小