反歧化装置介绍-2解析.docVIP

二氯二氢硅反歧化技术介绍 南京丰多工程技术有限公司 2012年9月28日 目 录 概述 反岐化工艺 工艺指标和条件 成本及效益分析 合作方式 性能保证  概述 在西门子多晶硅工艺中, 会产生二氯二氢硅、硅烷等低沸点物质。 如果把二氯二氢硅循环回CVD 反应器，会产生不定型硅、菜花料等不利影响，当二氯二氢硅浓度过高时会影响安全生产。 如果把二氯二氢硅分离出来，因为二氯二氢硅是一种沸点只有8.2°C，自燃温度为58°C的强腐蚀有毒气体，不宜在现场长期存储。 采用洗涤除去二氯二氢硅，会消耗一定量的碱或石灰并消耗一定量的水。 二氯二氢硅反歧化技术不但可以处理二氯二氢硅，还可以得到三氯氢硅，同时也可以转化部分四氯化硅。有良好的经济效益。 ? 二氯二氢硅反歧化反应式如下： SiH2Cl2 + SiCl4 = 2 SiHCl3 上述反应系在装有催化树脂的歧化反应器中完成，反应的单程转化率可达95%。通过循环分离的方式可以完全转化二氯二氢硅。该装置运行温度低，压力，能耗低。 氯硅烷的反歧化工艺是UCC在上世纪七十年代中期首先进行研发，经过多晶硅行业的多年生产改进，目前该工艺已经十分成熟。 江苏顺大多晶硅项目采用源自美国的反歧化工艺技术。经过吸收、消化、再创新，建设了中国第一套反歧化装置。经过三年多的生产改进，形成了有自主知识产权的高转化率反