洁净室施工验收规范讲课资料.ppt

 欢迎各位同仁参加《洁净室施工及验收规范GB50591-2010》的学习与交流！ 吨，几乎全部来自汽车和森林大火）、氮氧化物及碳氢化合物的 污染物粒子。 另外，低熔点金属，像铅、砷、 铍、钙和锌等，其生产过程中产生的 烟气都是剧毒品，对于类似硫酸或磷 酸制造厂散发出来的酸雾，还有 噬菌体等微生物，同时，空气中也 含有一定量的水蒸气，这些都是我 们小环境--洁净室污染物粒子的来 源。 我们的洁净室就是依托这样的环 境而存在。 粉尘：一般指1μm -- 76μm的微尘粒子，可以通过200目的筛孔尺寸。 烟气：小于1μm的固体微尘粒子。 薄雾：一般小于10μm的液体微尘粒子。 雾：当薄雾较浓只能朦胧可见。有时人们也将薄雾称之为雾。 烟：通常指燃烧产生的废气， 或者油飞灰以及不完全燃烧产生的废 物，或者两者都有，其粒子是固体 的，也可能为液体的。 烟雾：含义十分广泛，比如指烟和 雾的结合体；泛指任何一种令人厌恶 的大气污染物。 历史上科学家曾经把地球烟雾分为 两种类型，即众所周知的“洛杉矶 型”与 “伦敦型”。“洛杉矶型”为 光化学烟雾，主要来自汽车的尾气。 而“伦敦型”主要来自煤的不完全燃 烧，主要含有较高浓度的二氧化硫及 其粒子。我国北京等大城市为两种类 型地结合。煤烟：燃煤未能充分燃烧 而产生的一些未燃煤粉粒子。 大气微尘粒径对照表 虽然近年来通过人为的强行控制，大气环境中的天然尘源已在减少，但是根据不同地区和环境的状况，在每立方米的大气中仍旧含有大约1750万颗、粒径为1－0.01μm的污染物粒子。 这样的大气进入我们气系统的源头：“深冷空分制气”、“碳分子筛制气”或“纤维膜分离制气”等系统的空气压缩机，同时，往复活塞式空气压缩机本身的活塞环，在运动磨擦过程中 会产生粉尘，对压缩的气体造成二次 污染，因此，通过往复活塞空气压缩 机后的压缩体气中的污染物含量，大 约可增加50 ppm（w/w）。 同时，通过纯化或干燥器，清除 气体中水分、CO2、C2H2等的过程中， 由于气流冲刷、操作不当或吸附剂热 稳定性不良等因素的影响，都会产生 大量吸附剂的粉尘。虽然在净化、干 燥器进出口 系统中都装设过滤器，由于动态气体的连续流动性能不佳，微米、亚微米级的污染粒子，仍旧会造成系统内的交叉污染或反扩散污染。所以，在所获得的气体产品中，不论其纯度如何，都会不同程度的含有污染物粒子。 制造一个人工的洁净环境，去除这些污染物粒子，就是我们洁净室的基本功能与任务。 气体生产过程中产生的污染物 （1） 压缩系统中的污染物 在压缩空气中的污染物主要为两种，一种是被吸入空气压缩机的大气污染物粒子，其中80% 直径在2μm以下，另外一种便是压缩机加压过程中压缩机本身产生的污染物质。 而对于无润滑压缩机，金属活塞 环或塑料活塞环与气缸壁的磨 擦，产生的金属与非金属粒子 等。油润滑压缩机空气中的残油 量通常为：活塞式压缩机：5- 15ppm(0.7Mpa、20oC )，液滴的尺 寸约为1-15μm。 螺杆式压缩机：3-6ppm(0.7Mpa、 20oC ),气态油雾的尺寸通常小于 1μm 。某种程度上，残油量多 少，在压缩 机维护较差或者是 劣质机器，进入压缩空气中的残 油量，基本上取决于压缩机的功 率或自由空气流量。 压缩机产生金属或塑料粉尘，会 与管道中的赃物混合，形成锈 斑、固体微粒以及乳胶状乳油。 如果这种不洁净的压缩空气，不采用任何有效的去除手段，直接应用在对气质要求较高的场合或地点，如洁净室，就会污染洁净的生产环境，甚至玷污贵重的产品并导致不合格。 洁净室及洁净区空气洁净等级 【ISO14644-1】  还有一些特殊的场合，如飞机、坦克、战舰之类使用的液体燃料、油和润滑材料，要求不含5-10μm固体残留物；在核技术中的液体金属纳、锂的过滤、中子发射装置；医药卫生行业用来过滤病毒、细菌，生产无菌空气和从母液中分离青霉素、链霉素等抗菌晶体等，对生产环境污染物粒子的含量控制十分严格。 不稳定，热稳定性差，压力冲击下易粉碎，从而产生细小粉尘，往往会造成干燥、纯化气体的二次污染。 我们用干燥/纯化器前后气体测定的结果加以说明： 压力气体经过干燥器纯、化器前、后气体含尘量对比  （3） 过 滤 器 的 污 染 间，管道内气体达到粒子的含量为 0.00的水平。 气溶胶：最初，仅为对及其微小、相 对稳定的空气悬浮物的称谓，近年 来，这种称谓普遍用于所有的空气中 的悬浮物，它的粒子尺寸范围非常宽 大，一般为0.001μm -100μm，随着