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- 2016-04-01 发布于湖北
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现代分析测试知识点2.doc
电镜的分辨率
典型值: 100KV 波长 0.0037nm
200KV 0.00251nm
300KV 0.00197nm
综上所述:
提高加速电压,缩短电子波长,提高电镜分辨率;
加速电压越高,对试样的穿透能力越大,可放宽对样品的减薄要求。
如用更厚样品,更接近样品实际情况。
电子波长与可见光相比,相差105量级
2电磁透镜
透射电子显微镜中用磁场来使电子波聚焦成像的装置是电磁透镜,
磁透镜:能产生旋转对称非均匀磁场的磁极装置
3像差
?球差
球差即球面像差,是磁透镜中心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的,其中离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的电子折射程度更大。
球差最小散焦斑的半径在原物面上的折算值如下:
?像散
由于电磁透镜的周向磁场不非旋转对称引起像散。使用消像散器
极靴内孔不园;上下极靴不同轴;极靴物质磁性不均匀;极靴污染
透镜磁场的这种非旋转性对称使它在不同方向上的聚焦能力出现差别,物点P通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点,而是形成一散焦斑,
其最小散焦斑在原物面的折算半径值如下
? 色差
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