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第四章 精密机械系统的设计 现代测控仪器需要机械、电子、光学等相互配合才能完成高精度的测量任务。 机械系统是测控仪器主要的组成部分，对被测件等起支承作用以外，还要保证完成各种复杂的测量动作，以获取被测量的各种信息。 测控仪器的机械系统也是保证精密仪器精度的关键部件之一。 机械系统：支承、导轨、主轴、伺服、微位移 第一节 支承件的设计 测控仪器中基座（底座）、床身、立柱、横梁及工作台等都是支承件。起着支承和连接作用，确定零部件间相互位置关系的作用，保证仪器的精度。 龙门移动式三坐标测量机：底座1上面是床身2，立柱3、7和横梁5组成一个龙门架，支承在床身2上并可在X方向运动。Z向测轴箱4支承在横梁5上并可作Y向运动，测量主轴6在Z向测轴箱中作Z向运动。 支承件的特点为：尺寸较大、结构复杂且有很多加工面（孔），尺寸精度及位置精度要求较高。 一、支承件的基本要求 （一）刚度——力变形小 支承件主要受自身重力及其它部件、被测件重力的作用。要求支承件受力变形在允许范围内，即支承件必须有足够的刚度，以保证仪器的精度。 确定支承件刚度的方法有分析计算法、实验法两种。 分析计算法是根据图纸上的尺寸、形状和给定的工作条件，用力学公式计算出受力时的变形量。 摇臂式坐标测量机结构简单计算 有限元法计算复杂构件刚度：其基本方法是将复杂构件分割成有限个诸如三角形、矩形、菱形或其他形状的小单元，单元与单元之间通过节点相互连接成一个整体，然后按照给出的边界条件和受力情况等力学特性，对每个节点列出力或位移平衡方程和相应的刚度矩阵，把总体的力学特性视为这些单元体力学特性的总和，最后通过计算机求解，求出各节点的位移，从而得出零件的刚度。 仿真实验法 支承件的基本要求 （二）热变形小 几乎所有材料的几何尺寸会随着温度的变化而变化，因此热变形对仪器的精度有很大的影响。 减少热变形对测控仪器的影响，除了前面所讲的控制环境温度，采取补偿措施以外，在支承件设计时应该考虑： 1.合理的总体布局及结构，如可将热源与仪器分离，用冷光源或控制发光时间，应用隔热、散热及冷却装置等。结构上可采用空气静压轴承、导轨等以减少摩擦发热； 2.应用线膨胀系数小及具有高导热性材料； 3.使温度敏感的截面有较大的截面积，以加速热传导从而保持各部分一致。 （三）良好的抗振性 振源可能在仪器的内部或者外部。外部振源有机器、车辆以及人员的走动等；内部的振源有转子不平衡，存在往复运动件等。 在设计仪器的基座或支承件的时候，常采用如下的方法提高其抗振性： （1）在满足刚性要求情况下，尽量减轻重量，以提高固有频率，防止共振。 （2）合理进行结构设计，如合理地选择截面形状和尺寸，合理地布置肋板或隔板以提高静刚度，提高固有频率，避免产生共振。 （3）减少内部振源的振动影响，如采用气体、液体静压轴承，对电机采取隔振措施等。 （4）减少外部振源对仪器的影响，如采用弹簧隔振、橡胶隔振、气垫隔振等。 （四）稳定性——内应力小 支承件不稳定主要由内应力引起； 铸造及热处理时快速冷却或冷却不均匀，焊接尤其是熔焊会产生较大的内应力； 尺寸较大和形状复杂的支承件也会产生较大的内应力，故支承件要进行时效处理，粗加工或焊接后必须退火以消除内应力。 完全消除内应力十分困难，在设计仪器结构时要注意这一点。 支承件材料的选择 支承件材料要求有较大的强度、耐磨性、稳定性、较小的热膨胀系数、良好的铸造或焊接性。 常用的材料有：铸铁、钢板及花岗岩等。 （一）铸铁 铸铁的工艺性能好，易于造结构复杂的支承件，价格便宜，但制造周期较长。用于支承件的铸铁材料品种有： 1）灰口铸铁：成本低，具良好的减振和减磨作用，良 好的流动性和切削加工性。常用于结构简单的支承件。 2）球墨铸铁：较之灰口铸铁的抗拉抗弯性能要好。 3）高磷铸铁，钒钛铸铁和铜磷钛铸铁，耐磨性比普通铸铁高2～3倍，适用于大中型精密仪器支承件。 （二）钢板 钢板焊接支承件，因钢材弹性模量比铸铁大，故在同样载荷条件下壁厚可以做得比铸件薄，重量轻。焊接件的制造周期比铸件短，且容易制造，劳动条件也比铸造好，因此对单件小批量生产的支承件，一般多用钢板代替铸造件。如三坐标测量机的可移动龙门架，立柱，横梁等大多采用钢板焊接件。 采用钢板焊接支承件时，需要注意焊接工艺的特点，如可能造成虚焊、气泡、夹杂、焊接裂缝等缺陷，从而影响构件质量。 （三）花岗石 近年来，花岗石已广泛用于精密仪器中，特别是近代发展起来的三坐标测量系统中更为普遍地采用花岗石。 1）具有极好的稳定性。花岗石是火成岩，在自然界经过数十数百万年的天然时效处理，内部组织特别稳定，能长期保持精度。 2）色泽鲜艳，花纹美观，组织细密坚实，无毛刺。即使表面破损也不影响平面度和直线度。 3）