同质外延单晶CVD金刚石研究分析进展.pdfVIP

2011 年 8 月 第 4 期 金刚石与磨料磨具工程 Aug． 2011 第 31 卷 总第 184 期 Diamond ＆ Abrasives Engineering No． 4 Vol． 31 Serial． 184 文章编号: 1006 － 852X( 2011) 04 － 0015 － 08 * 同质外延单 晶 CVD 金刚石 的研究进展 朱金凤 满卫东 吕继磊 匡 巧 汪建华 ( ， 430073) 武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室 武汉 摘要 金 刚石因具有诸多优异的物理化学性能而使其在很 多领域都有非常广阔的应 用前景 。CVD 法高 、 。 、 速合成大面积 高质量单 晶金 刚石一直是人 工合成金 刚石的研究热点之一 本文首先从基底预处理 生 MPCVD ， 长参数的优化 以及合成工艺的改进这三个方面综述 了 同质外延单晶金 刚石的研究进展 其 次对 CVD ， CVD 国内外 外延单晶金 刚石的研究进展进行 了简单的介绍 最后对 法合成单 晶金 刚石的发展 方 向 进行 了展望 。 关键词 单晶金刚石; 化学气相沉积; 同质外延; 生长速率 中图分类号 TQ164 文献标识码 A DOI 编码 10 ． 3969 /j ． issn． 1006 － 852X． 20 11． 04 ． 004 Progress of homoepitaxial CVD single-crystal diamond technology Zhu Jinfeng Man Weidong Lv Jilei Kuang Qiao Wang Jianhua ( Provincial Key Laboratory of Plasma Chemistry and Advanced Materials ，Wuhan Institute of Technology ，Wuhan 430073 ，China) Abstract Owing to its various excellent physical and chemical properties ，diamond has great potential in many areas． Therefore ，the synthesis of diamond ，especially the synthesis of single crystal diamond of high quality and large area at high speed ，has become a focus． This paper firstly reviews the development of homoepitaxial single crystal