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第 卷 第 期 年 月 科 凉 立 叙
等离子体源离子注人离子鞘层及鞘层扩展
动力学计算方法
王 久 丽 ① 张谷令 ① 王 友年 ② 刘 元 富① 刘 赤子 ① 杨 思 泽①
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一
①中国科学 院物理研究所, 北京 ②大连理工大学三束 国家重点实验室 大连 妇
摘要 综述 了近年来 国 内外对等离子体源 离子 注 入 离子 鞘层理 论研 究的进 展 情况 介 绍 了研 究离子鞘
层扩展 动力学所 常用 的几 种计算方法 并通 过 比较指 出了其各 自的优缺 点及适用条件 通过对一 些计算
结果 的分析指 出了在 实验 中常见 的样 品表面 离子注 入不 均匀等 问题 出现 的原 因及解决办法 , 介绍
了 法用 于
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