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TEM 分析中电子衍射花样的标定原理 第一节 电子衍射的原理 1.1 电子衍射谱的种类 在透射电镜的衍射花样中，对于不同的试样，采用不同的衍射方式时，可以观察到多种 形式的衍射结果。如单晶电子衍射花样，多晶电子衍射花样，非晶电子衍射花样，会聚 束电子衍射花样，菊池花样等。而且由于晶体本身的结构特点也会在电子衍射花样中体 现出来，如有序相的电子衍射花样会具有其本身的特点，另外，由于二次衍射等会使电 子衍射花样变得更加复杂。 上图中，图a和d 是简单的单晶电子衍射花样，图b是一种沿[111]p方向出现了六倍周 期的有序钙钛矿的单晶电子衍射花样（有序相的电子衍射花样）；图c是非晶的电子衍 射结果，图e和g 是多晶电子的衍射花样；图f是二次衍射花样，由于二次衍射的存在， 使得每个斑点周围都出现了大量的卫星斑；图i和j 是典型的菊池花样；图h和k是会 聚束电子衍射花样。 在弄清楚为什么会出现上面那些不同的衍射结果之前，我们应该先搞清楚电子衍射的产 生原理。电子衍射花样产生的原理与X 射线并没有本质的区别，但由于电子的波长非常 短，使得电子衍射有其自身的特点。 1.2 电子衍射谱的成像原理 在用厄瓦尔德球讨论X射线或者电子衍射的成像几何原理时，我们其实是把样品当成了 一个几何点，但实际的样品总是有大小的，因此从样品中出来的光线严格地讲不能当成 是一支光线。之所以我们能够用厄瓦尔德来讨论问题，完全是由于反射球足够大，存在 一种近似关系。如果要严格地理解电子衍射的形成原理，就有必要搞清楚两个概念： Fresnel（菲涅尔）衍射和Fraunhofer（夫朗和费）衍射。所谓Fresnel（菲涅尔）衍射 又称为近场衍射，而Fraunhofer（夫朗和费）衍射又称为远场衍射.在透射电子显微分 析中，即有Fresnel（菲涅尔）衍射（近场衍射）现象，同时也有Fraunhofer（夫朗和 费）衍射（远场衍射）。 Fresnel（菲涅尔）衍射（近场衍射）现象主要在图像模式下 出现，而Fraunhofer（夫朗和费）衍射（远场衍射）主要是在衍射情况下出现。 小孔的直接衍射成像（不加透镜）就是一个典型的Fresnel（菲涅尔）衍射（近场衍射） 现象。在电镜的图像模式下，经常可以观察到圆孔的菲涅尔环。 Fraunhofer（夫朗和费）衍射是远场衍射，它是平面波在与障碍物相互作用后发生的衍 射。严格地讲，光束之间要发生衍射，必须有互相叠加，平行光严格意义上是不能叠加 的，所以在没有透镜的前提下，夫朗和费衍射只是一种理论上的概念。但是在很多情况 下，可以将衍射当成夫朗和费衍射来处理，X射线衍射就是这样一种情况。虽然X射线 是照射在晶体中的不同晶面上，但是由于晶面间距的值远远小于厄瓦尔德球（X射线波 长的倒数），即使测试时衍射仪的半径跟晶面间距比也是一个非常大的值，所以X射线 衍射可以当成夫朗和费衍射处理，因为此时不同晶面上的X射线叠加在一点上时，它们 的衍射角仍然会非常接近布拉格角。 论：X射线并非严格的夫朗和费衍射，但可以将其当成夫朗和费衍射处理。 电子衍射是有透镜参与的Fraunhofer（夫朗和费）衍射，所以与X射线衍射的相比，它 才是严格的远场衍射。 上图只是给出了晶体在某个方向的平行光能彼此加强时，一定会在透镜的背焦面上会聚 成一个加强的衍射斑点。而晶体究竟会在哪些方向产生平行光之间彼此加强的衍射，最 终还是取决于它满不满足布拉格方程，即厄瓦尔德几何条件。下图是单晶电子的厄瓦尔 德示意图，图中的比例关系中，反射球的尺度被大大缩小。 如上图所示，如果倒易点阵都是理想意义上的点，那么根本不可能使某个零层倒易面上 的点同时满足布拉格方程，即其上的每个点同时落在厄瓦尔德球上。因此之所以能得到 单晶电子衍射花样，是因为电子衍射有其自身的特点。 首先电子波的波长非常短，因为 与其对应的厄瓦尔德球半径会非常大（远大于地球），因此与倒易点阵相交的地方接近 是一个平面（个人并不认可这一观点，因为倒易点阵的矢量也会非常大，总的来说必须 满足布